カメラ
アプリケーションに最適なセンサを各種ご用意しています。
| スリットスキャン式レーザビームプロファイラ・ナノスキャンシリーズ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
 カタログ仕様 |
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| NanoScan2sはハイスピードUSB2.0に対応しており、コンピュータに接続するだけで紫外から遠赤外(>100um)の波長帯域においてCW及びパルスレーザのビームプロファイル計測が行えます。付属の専用ソフトも一新され、ユーザ指定による表示機能も充実し、計測の精度を最大限に引き出します。 |  |
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特徴 |
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| NanoScan2sはISO（国際標準化機構）標準規格 11146に準拠したレーザビームプロファイラで、パワーの測定もISO13694 に準拠して行われます。NanoScan2sを含むNanoScanシリーズは、スリットスキャン型のビームプロファイラで、このビーム径スキャニング技法はISO 標準のうちの1 つです。ビーム径が数uから数cm、出力が数uW から数kWまでのビームプロファイル計測可能で、多くの場合アッテネータなしでも対応しています。ディテクタはシリコン、ゲルマニウム、パイロエレクトリックから選択でき、波長帯域は紫外から赤外領域まで計測可能です。NanoScan2s のデジタルコントローラは35dB ワイドダイナミックレンジまでの信号を16bit でデジタル化しています。こうしたビームプロファイル計測の精度と安定性により、ビーム径とビームポインティングを数百nm (3σ) の精度で計測することが可能です。ソフトウェアでスキャン速度を調整し、ピークコネクト アルゴリズムにより応答繰り返し周波数10kHz 以上＊のパルスレーザまたはパルス幅変調されたレーザの計測が可能です。ドラムスピードが変更できるのでどのスキャンヘッドに対してもダイナミックレンジを拡大でき、動作範囲は格段に広くなります。＊NanoScan 作動領域のグラフをご参照ください | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Benefits |
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 全てのNanoScanシステムがNISTとレーサブル、優れた測定精度 測定波長範囲：190nm〜100um カメラ応答速度<0.3sec、リアルタイム更新<20Hz Z軸 基準面±25umにより、ウェスト位置を簡単に、正確に計測 安定した正確なパルスビーム測定：パルスビーム径も測定可能な上、繰返しパルス周波数も正確に測定レポート 最小測定ビーム径7um（ダイレクトビーム入射） プロファイル平均化およびローリング平均化により、S/N比を向上 NanoScanソフトウェアのメカニカル・リニアステージを制御機能により、様々な位置でのニーム径を自動計測 ソフトウェアに装備されているM2 Wizardで、マニュアルでM2測定が可能 チャート表示によるビーム位置の時間変動の観察 ソフトウェアオプション（プロフェッショナル版）：ActiveXオートメーションコマンド（Excel VBA、LabView、Visual Basic.net.向けオートメーション プログラム サンプル付属） |
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| *最小繰返周波数はビーム径とスキャン速度の関数です。スリットがビームをスイープしてプロファイル計測を行う間に、十分な数のパルスが必要となります。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
インターフェース |
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| 一新されたハードウェアに加え、NanoScan2sはソフトウェアも改良され、全ての計測結果が1画面に表示可能です。ソフトウェアは最大16のROIを選択でき、また最大16 のレーザビームが同時計測できます。NanoScan2s専用ソフトウェアは、スタンダード版とプロフェッショナル版の2バージョンをご用意しています。NanoScan2s プロフェッショナル版にはActiveX オートメーション機能が含まれているので、NanoScanをOEMシステムで使用でき、C++、LabView、Excel、その他のOEM ソフトウェアパッケージで、ユーザ側で独自のインターフェース画面を作ることができます。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
 解析ウインドウ |
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一体型パワーメータ |
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| シリコンまたはゲルマニウムディテクタを採用したNanoScan2sは、最大測定出力200mWのパワーメータ機能が統合されています。ユーザが使用しているISO またはNIST トレーサブルのパワーメータと対照してユーザ校正が可能です。 対照とするパワーメータの校正精度に対して1.5％の追加誤差内で相対値測定ができます。広波長範囲に渡り一定の感度が得られる合成石英のアッテネータウインドウが付属します。 |  |
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NanoScan2ディテクタの種類 |
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| NanoScan2sには、シリコン、ゲルマニウム、パイロエレクトリックディテクタが用意されており、紫外から赤外までの波長範囲に対応します。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
スキャンヘッドのアパチャ、スリットサイズ |
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| NanoScan2ビームプロファイラは、高精度測定を実現するため、何種類かのアパチャとスリットサイズからご選択頂けます。スリット幅は測定できる最小幅と定義されます。コンボリューションエラーのため、±3％の精度を実現するためにスリットサイズはビーム直径以下のサイズにしてください。このような理由から、スタンダード5umスリットで測れる最小ビーム径は20umです。20um以下のビームを測定する場合、最小ビーム径約8um で1.8umの小さなアパーチャスリットを使用する必要があります。 スリットは非常に狭いので、最大の長さの限界は口径3.5mmまでとなります。多くの人が誤解していますが、より狭いスリットにより計測の分解能が改善されるわけではありません。ビームの最小サイズだけです。従って、20um以下のビーム計測を必要としない限り、9mm/5umモデルで対応できます。 大口径ビームの場合、NanoScanは20mmまたは25mmのスリットのご用意があります。これらのセンサは、標準スキャンヘッド（直径100mm）より大きいです。 |
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最も汎用性が高くフレキシブルなビームプロファイラ |
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| 最良の計測を実現するため、NanoScan2sビームプロファイラには様々なスリットサイズ、口径サイズのディテクタをご用意しています。NanoScan2sはUSB接続に対応しています。外部コントローラや電源は不要です。ご希望によりローテンションマウントで垂直オペレーションに対応します。 |
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比類ないビームプロファイル機能 |
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| 最新バージョンのNanoScan2sは、ドッグ、フローティング ウインドウ、リボンツールバーなどのGUI機能により、小さなノート型PCからマルチモニタのデスクトップまで、どんなサイズのディスプレイにおいても操作性に優れたソフトウェアとなっています。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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ビーム計測結果 |
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| Photon Incの社長であったJohn Fleischer（1989〜1996年）は、レーザビーム幅ISO/DIN規格委員会を統括し、ISO/DIN11146スタンダードの確立に貢献しました。最終的に承認された規格は１３ヶ国語で用意されています。この規格はスキャニングアパチャ、可変アパチャ、エリアセンサ、ディテクタアレイを使用しながら、ビームプロファイル計測と解析を決定します。NanoScanシリーズは、ISO/DIN11146に準拠したスキャニングスリット方式を採用したビームプロファイラで、スリットを通り抜けるビームを計測して、計測結果を積分します。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 測定結果 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 様々なクリップレベルでのビーム幅（1/e²や4σを含む）セントロイド位置ピーク位置楕円率ガウシアンフィットビーム分離ポインティングスタビリティROIパワー（オプション）トータルパワーパルスレーザ応答繰り返し周波数パルスレーザ繰返し周波数 |
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M² ウィザード |
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| Photonのレイリー・レンジ変換試験装置(RAL-FXT)はナノスキャン（NanoScan）のスキャンヘッド・アセンブリを移動させ、光軸上の相対位置の読みを変えることができる 便利な装置です。ユーザの集光レンズとナノスキャン（NanoScan）のM²ウィザードとから、 レーザのM²値が簡単に素早く求まります。RAL-FXTはキャリッジとデジタル・マイクロメータをスライドさせて、ベースプレートを特徴付けます。ベースプレート(5.4×10.2×0.38インチ) には一連の1/4−20の取付け穴が2インチ間隔で配置されているので、アセンブリを取り付けるのに便利です。スライド式のキャリッジには、Photonの全てのスキャンヘッド回転マウントに共通の0.125インチの合わせピンと1/4−20取付け穴があり、スキャンヘッドを6インチの範囲でスムーズに動かすことができます。ミツトヨの再リセット機能付マイクロメータが用いられているので、スキャンヘッド位置、移動距離が数十ミクロンの精度で正確に測定されます。。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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パルスレーザビームプロファイル |
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| ナノスキャン（NanoScan）はもともと連続発振 (CW) レーザ用に開発されたものですが、パルスモードで発振するレーザも数多くあります。それらの計測には普通CCDアレイ・プロファイラが用いられます。これは紫外や可視域の低出力レーザには合理的な方法ですが、ビームの減衰が必要です。しかし、紫外・可視域以外での計測用カメラは極めて高価なものとなります。1Hzから1000Hzの繰返し周波数の低いパルスレーザの計測の場合、アレイ・プロファイラに代わるものはありませんが、ナノスキャン（NanoScan）ではkHzの周波数のレーザの計測が行えます。ナノスキャン（NanoScan）プロファイラでは"ピーク・コネクト" アルゴリズムが用いられており、スキャン・スピードを調整することでこれらのパルス計測が可能となります。また、ピーク・コネクト・アルゴリズムの機能を最大限活用するために実際の繰返し周波数も測定されます。ナノスキャン（NanoScan）はQスイッチ・レーザやパルス幅制御（PWM）されたレーザの計測に最適です。近年、ピコ秒、フェムト秒パルスが様々な分野で使用されるようになりました。これらのパルスの測定は、さらに複雑さが加わりますが、ナノスキャン（NanoScan）はやはり最適なソリューションです。これら様々なパルスレーザの計測については後述します。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
NanoScan 2s – プロフェッショナル版 |
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オートメーション・インターフェース |
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| NanoScan2sプロフェッショナル版は、ActiveXに対応しています。オートメーションサーバにより、VBA（Visual Basic for Applications）、C/C++、またはActiveXオートメーションをサポートしているアプリケーション（Excel/Word（Microsoft）、LabVIEW（National Instruments）によるデータを連携します。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
NanoScan2sビームプロファイラとソフトウェア | |||
| NanoScanソフトウェア仕様 | |||
| *特徴 | NanoScanナノスキャン・スタンダード版 | NanoScanナノスキャン・プロフェッショナル版 | |
| 操作 | |||
| ソース | スキャンヘッド選択、ゲイン、フィルタ、サンプリング解像度、オートファインド、回転、周波数、レコードモード |  | |
| キャプチャ | 平均化、回転、拡大、CW / パルスモード、拡がり、ガウシアンフィット、レファランスポジション、リコンピュート | | |
| ROI | シングル、マルチ、オート、マニュアル、カラー
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| プロファイル | 垂直スケール(1´、10´、100´) 対数スケール、Z & パン (オート / マニュアル) | | |
| コンピュテーション: ISO 13694, ISO 11146 | Dslit, (13.5%、50% クリップレベルはユーザ選択)、D4Ó、ビーム幅比率、セントロイド位置、ピーク位置、セントロイド分割、ピーク分割、入射量、ガウシアンフィット、楕円率、拡がり、トータルパワー、パルス周波数、% パワー | | |
| 連続、ローリング、限定 | | ||
| ポインティング | セントロイドまたはピーク、アキュミュレートモード、ビームインジケータ、グラフセンター、カラー、 | | |
| 2D/3D | 2D/3Dモード、直線または対数スケール、解像度、輪郭、固体表面、ワイヤーフレーム、クリップレベル、カラー | | |
| チャート | チャート選択、パラメータ選択、アパチャ選択、更新レート、開始／終了 | | |
| ロギング | ファイル、パス/名前、区切り文字、更新レート | | |
| M² | レール セットアップ：Comポートおよび長さ、接続/非接続、レールコントロール | | |
| ビームプロファイル画面 | |||
| プロファイル | 各軸に対するビームプロファイル表示、ガウシアンオーバーレイ（オプション） | | |
| 測定結果 | ユーザが選択した測定結果の測定値と統計表示 | | |
| ポインティング | セントロイドのXY位置または各ROIのピーク表示、オーバーレイおよびアキュミュレートモード（オプション） | | |
| チャート | ユーザが選択した測定結果の測定値と統計表示 | | |
| 2D/3D | 擬似2D/3Dビームプロファイルの表示 | | |
| M²ウィザード | 完全自動化処理としてレイリー法を用いたM2測定 | | |
| ファイル保存 | |||
| NanoScanデータファイル | | ||
| テキストファイル | | ||
| データログ | |||
| ログファイル | | ||
| レポート | |||
| NanoScanレポート | | ||
| オートメーション・インターフェース | |||
| ActiveXオートメーションサーバ | | ||
| 最小システム条件s | |||
| 対応OS：Windows7（32/64）ノートPCまたはデスクトップ ※注¹ | |||
| デュアルコアCPU 2GHz以上 | |||
| RAM 2GB ※注² | |||
| USB2.0ポートx 1 | |||
| HDD最小空き容量250MB | |||
| ディスプレイ解像度 1400 x 900 | |||
| グラフィックカード、ハードウェアアクセラレータ付き | |||
| DVD-ROMドライブ | |||
| Microsoftポインティング デバイス（マウス、トラックボールなど） | |||
| *NanoScanシリーズのソフトウェア及び全ての機能について記載されている操作マニュアルは、ウェブサイトからダウンロードが可能です。 | |||
| ¹ビジネス/プロフェッショナル版Windowsを推奨しています。NanoScan2sソフトウェアはWindowsホーム版で検証済みです。Windows7 64bit及び32bitはサポートされています。NanoScan2sは、現在ではWindowsXP 32bitで検証していません。 ²コンピュータ メモリ（RAM）はデータレコーダ内のソフトウェアのパフォーマンスに影響を及ぼします。. | |||
NanoScan2s 一般仕様 | |||
| モデル | 仕様 | ||
| バス インターフェース | USB 2.0 | ||
| 信号デジタル化 | 16bit | ||
| 最大デジタル化クロック | 20MHz | ||
| 最大更新レート | 20Hz | ||
| データ転送 | バルク転送モード | ||
| 内臓メモリ | 64MB mDDR SDRAM | ||
| 重量 | 434g (15.3 ounces) | ||
| 動作温度 | 0…50°C | ||
| 湿度 | 90%（非結露） | ||
| スキャンヘッド寸法 | 3.03"(7.68cm) L X 2.5"(6.35cm) Ø | ||
| 電源（USB） | USB2.0バス電源 | ||
| クロック周波数 | 300MHz | ||
| メモリクロック | 264MHz | ||
| スキャニングモータ | ブラシ付きDC、最大4W | ||
図面 |
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NanoScan 動作範囲（代表値） |
| 動作範囲はディテクタ感度のピーク値近傍になります。動作範囲は決して絶対的なものではありませんので、チャートはあくまで参考としてください。 |
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シリコン ディテクタ |
| ＜シリコンディテクタ＞感度：波長に依存、測定波長範囲：190-950nm、ピーク感度 0.4 A/W（波長850nm）、ディテクタによる感度の個体差±20% ＜パワー＞測定ビームのパワー。円形ビームで想定。楕円ビームの場合は平均ビーム径を用いた概算値。極端な楕円ビーム（比率＞4:1）については別途お問い合わせ。 ＜パルス計測＞ (  ): パルスレーザ測定時の動作範囲の上限値＜ブラックコーティング剥離＞ (  ): 反射低減のためにスリットはブラックコーティング採用。（パイロディテクタのスリットは除く。）ライン近傍でブラックコーティングが気化。＜スリット損傷＞ (  ): ライン近傍のパワー密度（W/cm2）においてスリット損傷。＜左境界＞: スリットの幅の４−５倍に相当する最小ビーム径。その他のモデルは電気的バンド幅のため制限あり。 ＜右境界＞:装置の入射アパーチャ径。最大ビーム幅(1/e2) は1.2-1.4に分割される。 |
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ゲルマニウム ディテクタ |
| ＜ゲルマニウムディテクタ＞感度：波長に依存、測定波長範囲： 700-1800nm、ピーク感度 0.7 A/W（波長1550nm）、ディテクタによる感度の個体差±20%。 ＜パワー＞測定ビームのパワー。円形ビームで想定。楕円ビームの場合は平均ビーム径を用いた概算値。極端な楕円ビーム（比率＞4:1）については別途お問い合わせ。 ＜ビーム径＞クリップレベルで円形レーザスポットは細いスリットで計測。 パルス計測＞ ( ): パルスレーザ測定時の動作範囲の上限値。＜ブラックコーティング剥離＞ ( ): 反射低減のためにスリットはブラックコーティング採用。（パイロディテクタのスリットは除く。）ライン近傍でブラックコーティングが気化。＜スリット損傷＞ ( ): ライン近傍のパワー密度（W/cm2）においてスリット損傷。＜左境界＞:スリットの幅の４−５倍に相当する最小ビーム径。その他のモデルは電気的バンド幅のため制限あり。 ＜右境界＞:装置の入射アパーチャ径。最大ビーム幅(1/e2) は1.2-1.4に分割される. |
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パイロエレクトリック ディテクタ / 9mm / 5um |
| ＜パイロエレクトリック ディテクタ＞感度：波長に依存、測定波長範囲： 700-1800nm、ピーク感度 0.7 A/W（波長1550nm）、ディテクタによる感度の個体差±20%。 ＜パワー＞測定ビームのパワー。円形ビームで想定。楕円ビームの場合は平均ビーム径を用いた概算値。極端な楕円ビーム（比率＞4:1）については別途お問い合わせ。 ＜ビーム径＞クリップレベルで円形レーザスポットは細いスリットで計測。 ＜パルス計測＞ ( ): パルスレーザ測定時の動作範囲の上限値。＜ブラックコーティング剥離＞ ( ): 反射低減のためにスリットはブラックコーティング採用。（パイロディテクタのスリットは除く。）ライン近傍でブラックコーティングが気化。＜スリット損傷＞ ( ): ライン近傍のパワー密度（W/cm2）においてスリット損傷。＜左境界＞スリットの幅の４−５倍に相当する最小ビーム径。その他のモデルは電気的バンド幅のため制限あり。 ＜右境界＞:装置の入射アパーチャ径。最大ビーム幅(1/e2) は1.2-1.4に分割される。 |
カタログ/マニュアル
NanoScanナノスキャンソフトウェア・スタンダード版ナノスキャンソフトウェア・スタンダード版は、NISTトレーサブルで数多くのISO規格に準拠した測定に対応します。- NanoScanナノスキャンソフトウェア・プロフェッショナル版ナノスキャンソフトウェア・プロフェッショナル版は、NISTトレーサブルで数多くのISO規格に準拠した測定に対応します。プロフェッショナル版は、オフィール・フォトンの全スキャニングスリットプロファイラに対応、ActiveXオートメーションにも対応しています。