L40(200)A-EX-50サーマルセンサー (7Z02795) は、エキシマレーザー用レーザーパワーおよびエネルギー測定センサーです。有効口径は50mmで、300mW-35Wまで連続して測定でき、200Wまで断続的に測定できます。100mJ-200Jのエネルギー測定が可能です。EX型の吸収体を備えており、最大エネルギー密度は0.5J/cm² で、波長範囲0.15-0.7µm、10.6µmに対応しています。
- 波長範囲 0.15-0.7µm エキシマレーザーEX型
- 平均パワーレンジ 300mW-35W
- エネルギーレンジ 100mJ-200J
- 200W断続測定 すべての機能を見る
仕様
- 製品名L40(200)A-EX-50
- 吸収体EX - Excimer laser
- 有効口径Ø50 mm
- 波長範囲150 to 700 nm and 10.6 µm
- 最小パワー300 mW
- 最大平均パワー35 W
- 最大断続測定パワー200 W
- 最小パルスエネルギー100 mJ
- 最大パルスエネルギー200 J
- 応答時間2.5 s
- 最大平均パワー密度1.5 kW/cm²
- 最大エネルギー密度 <100ns0.5 J/cm²
- 最大エネルギー密度 2ms12 J/cm²
- 冷却方式Convection
- 寸法90 x 90 x 33 mm (LxWxD)
- ケーブル長1.5 m
- CE コンプライアンスYes
- UKCA コンプライアンスYes
- 中国RoHS コンプライアンスYes
機能
サーマルセンサーの選択
この動画では、低出力、中出力、高出力のレーザーパワーを測定をするためのサーマルセンサーについて説明しております。
レーザーパワー測定用センサー
この動画では、レーザービームパワーの測定方法を確認し、さまざまなセンサーのタイプと、各タイプをいつ使用するかについて説明しております。
サーマルパワーセンサーの精度
OphirのCTOであるDr. Ephraim Greenfieldが、Ophirのレーザーパワーおよびエネルギーメーターを使用する際の測定の不確かさに寄与するさまざまな要因について説明しております。
測定に対する入射角の影響
この動画で、ビームの入射角がどの程度重要であり、どのタイプのセンサーでこれを考慮に入れる必要があるかご確認いただけます。
サーマルセンサーの校正
The sensors with the EX type absorber are for measuring Excimer lasers.
As the spectral sensitivity of the absorber used for the power and energy measurement is not fully linear, Ophir sensors get a high precision calibration by default with more than one wavelength.
Each thermal sensor is calibrated independently of a particular Ophir power meter with its calibration information contained in the DB15 plug. When the sensor is connected to the meter, the meter reads and interprets this information to display a calibrated reading. Each power meter is calibrated independently and has the same sensitivity as an other meter within about 2 tenths of a percent.
Unless otherwise indicated, Ophir sensors and meters should be recalibrated within 18 months after initial purchase, and then once a year after that.
よくある質問
- 校正精度に関してどのように理解したらいいか教えてください。回答
Ophirの精度に関する仕様は通常、標準偏差で2σです。つまり、精度が+/-3%と記載されている場合、センサーの95.4% がこの精度内に収まり、99.7%が+/-4%内に収まることを意味します。精度の詳細については、校正手順のチュートリアルおよびknowledge centerをご参照ください。
- センサーはどのようにクリーニングを行ったら良いですか?回答
まず、Umicore#2 Substrate Cleaner、アセトン、またはメタノールを使用して、ティッシュで吸収体の表面を洗浄します。次に、別のティッシュで表面を乾かします。一部の吸収体 (Pyro-BB、10K-W、15K-W、16K-W、30K-W) は、この方法ではクリーニングできませんのでご注意ください。代わりに、クリンエアまたは窒素で埃を吹き飛ばしてください。その際、吸収体には触れないでください。また、HEセンサー (30(150)A-HE-17など) はアセトンで洗浄しないでください。
注: これらの作業に対する保証はしておりません。洗浄プロセスにより、表面に引っかき傷や汚れが生じたり、受光部表面の吸収率が変化してしまうことがあります。 - 断続的に使用するように設計されたサーマルセンサーを、連続使用するよりも高いパワーで使用できる期間はどのくらいですか?回答
モデル 30(150)A、L40(250)A-BB-50 などの断続的な使用のためのサーマルセンサーは、次の式でおよそ与えられる期間、( )内の累乗まで使用できます。: センサーを1分/W/cm3のセンサーで使用できます。したがって、30(150)Aで150Wの場合、1分*165cm3/150W =~ 1 分強となります。センサーファインダープログラムは、ユーザーがデューティサイクルの選択肢を入力するときに、断続的な使用の許容範囲を計算します。
- カタログやセンサーファインダーで最適なセンサーを選択すると、ダメージスレッショルドに対してギリギリ仕様範囲内のセンサーが選択されました。このセンサーを選択したので良いのでしょうか?回答
ダメージスレッショルドは単純な数値ではなく、様々な要素に依存するため、ダメージスレッショルドに対してギリギリ仕様範囲内のセンサーは推奨いたしません。ウェブサイトのセンサーファインダーで検索する場合には、50%以下でのダメージスレッショルドでご検討ください。
- ダメージスレッショルドは、パワーレベルに依存しますか?回答
サーマルセンサーのダメージスレッショルドは、センサーディスク自体が、ハイパワーが入射されると、より熱を吸収するため、パワー密度だけでなくパワーレベルにも依存します。例えば、OphirのBBコーティングを採用したセンサーの場合、10W入射の場合は50kW/cm2ですが、300W入射の場合はわずか10kW/cm2となります。Ophirのダメージスレッショルドは、特定のセンサーに対して最大パワーを入射した場合の値とされています。他の製造メーカーのほとんどは、ここまでは行われておりません。仕様を比較する場合は、カタログ数値だけの比較ではなく、このような背景も考慮してください。センサーファインダーは、ダメージスレッショルドを計算する際に、パワーレベルを考慮します。
- サーマルセンサーの性能は周囲温度によってどのように影響を受けますか?回答
水冷式センサーは、センサー温度が水温によって決まるため、周囲温度の影響をほとんど受けません。Ophir 対流およびファン冷却センサーは、25℃の周囲環境で最大定格パワーまで連続して動作するように設計されています。最大定格パワーで動作している場合、センサー本体の温度は通常約 80℃を超えてはなりません。
注: 室温が25℃を超える場合、最大パワー (センサーを安全に操作できる) は、指定された最大値から適切にディレーティングする必要があります (センサー内部から周囲の空気への熱の放散により、より難しくなります)。たとえば、室温が 35℃の場合、センサーの仕様で指定されているように、最大パワー制限は (80-35)/(80-25) = 最大定格電力の82% になります。
計測器は再校正する必要がありますか?どのくらいの頻度で再校正しなければなりませんか?
回答特に指示がない限り、Ophirのセンサーおよびディスプレイは、ご購入日から18か月以内に再校正し、その後は年に一度再校正する必要があります。
レーザー測定は、レーザーからセンサーまでの距離に依存することがありますか?
回答理論的には、もしビームが完全に平行で、センサーの開口部に収まっているのであれば、距離がどうであれ全く影響はありません。空気による吸収 (250nm以下のUVを除けば無視できる) を無視すれば、同じ数の光子が届くためです。それにもかかわらず、距離依存が見られる場合には、以下のような要因が考えられます。
- サーマル型パワーセンサーを使用している場合: レーザーそのものの熱を測ってしまっている可能性があります。センサーがレーザーに非常に近い場合、サーマルセンサーがレーザーの発熱を感じてしまうことがあります。ただし、レーザー光が弱く熱源が強い場合を除き、この影響は数cm以上離れると消えるはずです。
- ビームの幾何学的要因: ビームが完全な平行光でなく、拡散している可能性があります。多くの場合、ビームの低強度の外側部分は中心部分よりも大きな拡がり角を持ちます。距離が伸びると、それらの外側の光がセンサーの開口を外れてしまう場合があります。これを確認するには、ビームプロファイラーやBeamTrack PPS (パワー/位置/サイズ) センサーが必要です。
- ディフューザーを用いたパイロエレクトリックセンサーでパルスエネルギーを測っている場合: レーザーにセンサーを非常に近づけた状態から離していくと、最初の数cmで測定値が急激に低下する (通常 6% 程度) ことがあります。これは、ディフューザーとレーザーデバイス間の複数の反射が原因である可能性が高く、最も近い距離で誤って高い表示値となっている可能性があります。これは、ディフューザーとレーザー装置の間で多重反射が発生し、近距離では実際より高い値が出てしまうためだと考えられます。少なくとも5cm、ビームがあまり拡散していない場合はさらに遠くにセンサーを離す必要があります。
言うまでもなく、安定したセットアップを確実に行うことも重要です。手持ちのセンサーでは、無意識のうちに動いてしまい、距離が伸びるにつれて開口部を部分的または完全に外す可能性があります。特に不可視光ビームではそのリスクが高くなります。
アクセサリー
センサーケーブル
標準の1.5mケーブルとは異なるケーブルをご利用の場合は、センサーと一緒に、異なる長さのケーブルをご注文ください。
BNCアダプター
SH-BNC変換アダプターは、Ophirセンサーの出力を測定するために、センサーを電流または電圧測定デバイスに接続することができます。フォトダイオードセンサーは、電流計を使用する必要があり、サーマルセンサーは、電流計または電圧計を使用することができます。
センサーの延長保証
上記製品をご購入されたお客様には、以下のオプションも併せてご検討いただいております。Ophirのディスプレイおよびセンサーには、標準で1 年間のメーカー保証が含まれています。ディスプレイまたはセンサーに1年間の延長保証を追加することができ、延長保証には1回分の再校正サービスが含まれます。
| 比較 | モデル | 図面、CAD、仕様 | 在庫状況 | 価格 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
![]() | XWAR-SENSORセンサーの延長保証 |
リソース
データシート
中出力 - 大口径サーマルセンサーデータシート(L40-xx-50)(967.1 kB, PDF)
カタログ
レーザーパワー&エネルギーセンサー製品カタログ(37.1 MB, PDF) レーザーパワー & エネルギーメーター、レーザービームプロファイラーカタログ(英語版)(27.5 MB, PDF)
図面&CAD
L40(200)A-EX-50図面(122.2 kB, PDF)











