ビームトラックセンサー　パワー / ビーム位置 / ビーム径測定

レーザビームトラッキング機能を搭載したOphirのビームトラックセンサーは、標準サーマルセンサー同様、レーザーの平均パワー、シングルショットエネルギー測定に対応するばかりでなく、ビーム位置やビーム径も1台のセンサーで測定可能です。レーザービーム位置測定精度は0.1mm、ビーム径の測定精度は±5%（ガウシアンビームの場合）となっています。レーザーのアライメント時にビーム位置の測定は重要となります。ビームトラックセンサーは、レーザー出力測定の他、IRカードやビューアーを使用せずビーム入射位置を容易に再現でき、ビームのゆらぎやビーム径の変化をモニタリングします。