Профилометр ближнего поля использоваться для анализа малых пучков, когда изображение увеличивается линзой микрообъектива и проецируется на ПЗС матрицу. Профилирование ближнего поля используется при анализе волокон и волноводов, определении характеристик линз, а также в других областях, где требуется анализ малых пучков размером 50 мкм и меньше.