レーザー微細加工

今日、鋼材の切断から、シリコンのビアホール穴あけ加工、プラスチックのマーキング等、材料加工のあらゆる分野においてレーザーを利用することで、これまでに無い成果をあげています。

他方で効率的な生産性への要求がますます高まっており、レーザー加工の安定性と事前の問題回避が求められています。高精度な製造に使用されるツールと同様に、産業用レーザーのピークパフォーマンスを維持するにはモニタリングが不可欠です。例えば、事前に規定したレーザーのパラメーターに異常が検出された場合、予防保全を実施することで、ダウンタイムや加工不良品が発生した場合のコストと比較すれば、大幅なコスト削減に繋がります。最適な加工条件のパラメーターを適切にモニターすることで、加工を中断することなくパラメーターの変化を自動的に補正して加工を制御することが可能となり、最適な加工条件を維持することができます。

一定期間にわたって安定した加工を維持するには、性能を維持するために該当するパラメーターを最適なタイミングで測定する必要があります。 また、モニタリングの対象となるパラメーターやサンプリングを行う頻度は、アプリケーションによって異なります。

• 平均出力: Ophirでは、最大出力120kWまで測定可能（最小出力はfW単位まで測定可能）なセンサーを提供しています。同時に特定の条件にも最適化した、各種パワーセンサー技術、吸収体を提供しています。

• パルスエネルギー: 最大数kJのシングルショットパルスエネルギーと、最大数十kHzの繰返し周波数で、数十Jの繰返しパルスエネルギーが測定可能なエネルギーセンサーを提供しています。

• ビーム解析: Ophirでは、様々なビームに対し、カメラ方式、スリットスキャン方式のビームプロファイラーを用意しており、多彩なレーザービームプロファイル測定のソリューションおよびアクセサリーを提供しています。また、ビームに接触することなく焦点・ビームウェストの解析が行える画期的な測定器を提供しており、入射出力の上限なしでビームの解析が可能です。

• 互換性のあるパワーメーターディスプレイとセンサーを組み合わせる、スタンドアローンの計測器
• アナログ信号のみ出力する簡易的なセンサー素子
• 測定値をホストシステムに組み込む必要がある場合に対応可能な、通信インターフェースを内蔵したOEMセンサー
• 個別のニーズに対応した、完全カスタマイズされたセンサー

Ophirの40年以上の経験により培われたソリューションより、信頼のおけるツールを提供することで、お客様のレーザー加工に貢献します。

1µmレーザーは、1µmの波長で動作するレーザーです。これらのレーザーは、溶接、切断、局所加熱などさまざまなプロセスに幅広く使用でき、多くのパワーと高い精度を提供いたします。

1µmレーザーから最高の結果を得るには、高いレーザーパワーとパワー密度レベルで効果的に機能するように設計された、高品質の特殊な光学部品を使用してレーザーシステムを構築する必要があります。これらの光学部品は、温度上昇によるレーザーシステムの性能の低下や損傷を避けるために、吸収損失と反射損失を最小限に抑える必要があります。

数十年にわたる経験、高度な製造技術、および最先端の光学コーティング技術を使用して、Ophirの高出力ファイバーおよび固体レーザー用の1μmレーザー光学製品ラインは、これらの要件を満たしています。

1µmレーザー用のOphir製品には、保護ウインドウ, 球面および非球面レンズ、レーザービームをコリメートおよび集光するためのレンズアセンブリー、レーザー切断ヘッド用のズームレンズが含まれます。1µmレーザー用の光学レンズは、最高の高出力レーザー性能を確保するために、吸収損失と反射損失を最小限に抑える特殊なARコーティングを施した石英ガラスで作られています。

CO₂レーザーは、長年にわたって多くの用途に使用されており、リソグラフィーや板金の切断などの材料加工用に、ますます高出力レベルで製造されています。

高出力のCO₂レーザーを製造するには、高度で高品質の光学部品の開発が不可欠です。Ophirは、このニーズを満たすように設計された集光レンズとミラーを製造しています。

CO₂レーザー光学部品の重要な側面の1つは、レンズコーティングです。コーティングはレンズを保護し、低吸収性、高性能、および長寿命を提供できなければなりません。HeNEレーザーの場合、コーティングは透明である必要がありますが、吸収性は低いままです。放射能も懸念事項であり、多くのユーザーが環境上の理由から放射能を含まないコーティングを選択しています。

Ophirは、吸収、透明性、放射能の欠如、および製品寿命の点でそれぞれわずかに異なる利点を持つ、CO₂レーザー用のさまざまな光学部品を提供しています。