レーザービームにおける非点収差とは、光学部品の水平面と垂直面における曲率の違いにより、ビームが一点に集光されないという光学収差のことです。これにより、ビームの水平成分と垂直成分で焦点が異なり、楕円形や歪んだビーム形状となります。 非点収差は、水平成分と垂直成分のレイリー半径の差を用いて定量化することができる。レイリー半径（zR）とは、光線の半径が√2倍になる距離のことです。レイリー半径は次のように定義されます： zR=πW02/λ W0はビームウエスト（ビーム径が最小となる点） λはレーザーの波長 非点収差ビームの場合、水平方向（zRx）と垂直方向（zRy）のレイリー範囲は異なり、その結果、以下のようになります： A= (( zRx – zRy)/( zRx + zRy)) zRx は水平方向のレイリー範囲zRy は垂直方向のレイリー範囲 非点収差を高精度に測定する重要性 レーザービームにおける非点収差（Astigmatism）を正確に測定することは、以下の理由から極めて重要です： 産業応用には、スティグマティックビームを必要とする 最適な性能を発揮するために、非点収差のないスティグマティックビームが求められる主な産業応用は以下の通りです： 半導体製造半導体製造の多くの工程では、ウェハ上に微細パターンを形成するために、高精度かつ高集光なレーザービームが不可欠です。 医療処置LASIKなどの眼科手術に代表される医療用途では、極めて高い精度が要求され、非点収差は重大な問題を引き起こします。 産業用切断・溶接非点収差のないビームは、エネルギーを正確に供給することができるため、溶接強度の向上および高精度な切断品質の実現に寄与します。 […]
