Laserleistung messen – Präzision im Advanced Packaging gewährleisten

Die Zahl der Laseranwendungen im Mikroelektronik-Packaging nimmt rasant zu. Präzision und Zuverlässigkeit sind hier entscheidend. Konkret geht es darum, bei Bedarf ein Maximum an Energie zu absorbieren und so die Wärmeeinflusszone (WEZ) zu minimieren. Die genaue Messung der Laserleistung ist entscheidend, um die Effizienz der Laserprozesse zu gewährleisten. Hier kommen die Ophir Leistungsmessgeräte ins Spiel.

Werfen wir einen genaueren Blick auf die Prozesse:

1. Schneiden und Bohren von 5G Antennen: Flexible drahtlose Antennen werden aus einem Verbund an Materialien mit sehr unterschiedlichen thermischen Eigenschaften – wie Kupfer und Polyimide) gefertigt. Nano- und Picosekundenlaser werden verwendet, um die mehrschichtigen Verbundstoffe zu schneiden und zu bohren.
2. Optisches Debonden: Diese Verfahren wird beispielsweise genutzt, um OLED Bildschirme von der unterstützenden Glasplatte zu trennen. Laser im ultravioletten und sichtbaren Spektrum werden verwendet, um die temporär zusammengefügten Platten ohne mechanische Kraft und damit sehr schonend zu trennen.
3. Mikro-Via Bohren: Die Nachfrage nach kleineren und enger gepackten Mikro-Vias treibt die Industrie weg vom klassischen CO2-Laser hin zu Nano- und Picosekunden-UV-Lasern. Sie reduzieren die WAZ und erlauben es, Löcher mit sehr kleinen Durchmessern zu bohren.

Um den Erfolg der Anwendungen zu gewährleisten, muss die Laserleistung präzise gemessen und überwacht werden. Ungenaue Messungen können zu suboptimalen Prozessen und dem Verfehlen der Ziele führen.

Die Herausforderung, genaue und verlässliche Messungen mit Ultrakurzpuls-Lasern zu erzielen, liegt in deren enormer Energie. Die Laser verdampfen und schneiden zahlreiche Materialien – auch die Sensoren.

Entscheidend ist es, Materialien und Beschichtungen für die Sensoren zu verwenden, die Laserenergie absorbieren und so Schäden vermeiden. Gerade bei UV-Lasern besteht das Risiko, das die Komponenten beeinflusst und die Messungen dadurch verfälscht werden.

Das Produktportfolio von Ophir bietet einige dedizierte Lösungen für die Art der Laseranwendung:

• F80(120)A-CM-17
• F150(200)A-CM-16
• 30(150)A-SV-17

‘CM’ und ‘SV’ Absorber stehen hier für die härtesten verfügbaren Materialien. Sie eignen sich für Nano-, Pico- und sogar Femtosekundenlaser.

Feinste Anwendungen erfordern verlässliche Messtechnik

Ungefähre Messungen reichen in so filigranen Anwendungen wie im Advanced Packaging nicht aus. Hier sind spezialisierte Messgeräte erforderlich, die Genauigkeit, Verlässlichkeit und Vielseitigkeit vereinen. Nur so lassen sich laserbasierte Prozesse implementieren, die effizient und mit maximalem Durchsatz arbeiten. Sprechen Sie unsere Experten an und lassen Sie uns eine verlässliche Lösung für Ihre Messaufgaben finden.