Измерение фокусного пятна
Анализатор фокусного пятна может измерять размер фокусного пятна и распределение мощности лазерного пучка с длиной волны 266—1100 нм. Средняя мощность может составлять от менее чем 1 ватта до 400 ватт, а минимальный размер фокусного пятна — 25 мкм. Кроме того, анализатор фокусного пятна позволяет измерять смещение фокусного пятна под воздействием мощности на критическом этапе запуска.