ビームトラックセンサ パワー / ビーム位置 / ビーム径測定
レーザビームトラッキング機能を搭載したオフィール社のビームトラックセンサは、一般的なパワーセンサのように平均パワー、シングルショットエネルギ測定が行える他、ビーム位置、ビーム径の測定も1台のセンサで対応します。ビーム位置の確認はレーザアライメント時に重要です。ビームトラックセンサはビームセンタリング、ビーム位置、ふらつきの確認ができます。ビーム位置測定分解能0.1mm、ビーム径測定精度±5%(ガウシアンビーム入射時)となっています。