近场轮廓分析仪

该近场轮廓分析可与相机轮廓分析仪或扫描狭缝轮廓分析仪一起使用，对小光束进行分析，并包括一台用以将光束成像于探测器上的显微物镜。该技术扩大相机测量范围，能测量因为探测器阵列像素尺寸的原因通常无法测量的小光束。在光纤波导分析、镜头特性分析和分析50m光束的其它应用中进行近场轮廓分析。