UVレーザービームプロファイリングの再イメージング

Ophir Photonicsは、UVレーザー ビームをプロファイリングするためのソリューションを多数提供しています。0.15mmから25mm以上までのスポットサイズを、カメラセンサーの損傷や劣化のリスクなしに安全にプロファイリングできます。波長変換材料をベースとしたレーザービームアナライザーアクセサリーにより、193-360nmの範囲の波長を持つUVレーザーの空間プロファイル分析が可能になります。

著者:

Kevin Kirkham, Sr. Manager, Product Development, Ophir-Spiricon

UV再イメージング

  • 波長 190-360nm
  • スポットサイズ 150μm-30mm*
  • エネルギー密度 50μJ/cm²-0.6J/cm²**

* 最大測定可能スポットサイズはCCDアクティブエリアの4倍、最大直径30mmまでです。

** レーザーフルエンスが30mJ/cm2を超える場合は、オプションのビームスプリッターが必要です: X4 UV用ビームスプリッター P/N SPZ17007

4Xエキスパンダー、4Xリデューサー、1:1イメージングシステムの3種類のCマウントUVアクセサリーが提供されています。UVビームプロファイリングアクセサリーは、センサー間隔4.5または12.5mmのCマウントタイプのカメラに直接取り付けられます。それぞれに独自の空間キャリブレーション値が付属しているため、OphirのBeamGageビームプロファイリングソフトウェアの結果は再結像光学系の倍率を正確に反映できます。

3つのUVコンバーター光学およびイメージングシステム

図 1. 1:1 UVコンバーター P/N SPZ17023
図 2. 4X ビームエキスパンダー / UVコンバーターとUV画像コンバーター P/N SPZ17019、SPZ17022
図 3. 4Xリデューサー UVイメージコンバーター P/N SPZ17024

CマウントUV変換再イメージング製品は、次の4つの主要コンポーネントで構成されます。

  1. 変換結晶。この結晶は特別にドープされたNd:YAGであり、50μm未満に非常に薄くなるように切断および研磨されています。
  2. フィルターは可視光に変換されなかった紫外線をブロックします。
  3. 可視画像はいくつかのレンズを使用して像面に中継されます。
  4. カメラセンサープレーン (付属していません) は、可視画像を電子画像に変換します。

利用可能なUV変換/再イメージングシステムには、UVプロファイルの4倍縮小、4倍拡大、または1:1再イメージングが含まれます。コンバーターは Cマウントアダプタースレッドを使用してカメラに接続します。コンバーターの設計には、CS (4.5mm) または SP (12.5mm) カメラが必要です。Cマウント (センサー間隔17.5mm) カメラでは動作しません。

3つのCマウントオプションに加えて、CCTVレンズ再イメージングオプションで使用するソラリゼーションガラスおよびドープYAG結晶UV変換ターゲットも提供しています。これらの変換材料には、レーザービーム再イメージングシステムを構築するために、当社のCCTVレンズと取り付けハードウェアの1つが必要です。クリスタルUVイメージングプレートは、ソラライズされたガラス変換プレートよりも空間的に均一であり、高い感度を示します。ビームプロファイルの精度が重要なアプリケーションでは、画像の忠実度を考慮すると、追加コストは十分に価値があります。これは、トップハットの均一性を測定することが目的の場合に特に当てはまります。

当社のマウントされていないUV変換材料には次のものが含まれます。

ドープYAG結晶（緑色蛍光）製品

20mm Round & 30mm Round, SUMITA Conversion Crystal.

  • P/N SPF01177 – 20 mm Diameter UV Imaging conversion plate. For customers that have own imaging system. Converts UV image to visible for beam intensities 50 μJ/ cm2 to 10 mJ/cm2.
  • P/N SPF01150 – 30 mm Diameter UV Imaging conversion plate - For customers that have own imaging system. Converts UV image to visible for beam intensities 50 μJ/ cm2 to 10 mJ/cm2.

Solarized Glass (Blue Florescence) products

50x50mmおよび100x100mmの長方形のソラライズドガラスプレート

  • P/N SP90082 – 50x50mmUV変換プレート – 200nm未満の波長には適していません。独自の画像処理システムをお持ちのユーザー向け。ビーム強度1mJ/cm2～20mJ/cm2のUV画像を可視画像に変換します。193nmには適していません。
  • P/N SP90083 – 100x100mm UV変換プレート – 200nm未満の波長には適していません。独自の画像処理システムをお持ちのユーザー向け。ビーム強度1mJ/cm2～20mJ/cm2のUV画像を可視画像に変換します。193nmには適していません。

要約

Ophir-Spiriconは、UVレーザービームプロファイルの間接測定用に3つのUVコンバーター製品ファミリーを提供しています。

  • Cマウントターンキーシステム: 4倍縮小、1:1および4倍拡張
    • 最コスト、使いやすさ、高性能
  • イメージングシステム、CCTVレンズで使用するためのドープYAG結晶コンバータープレート
    • 中コスト、中～高性能
  • イメージングシステム、CCTVレンズで使用するためのソラライズドガラス変換プレート
    • 低コスト、低パフォーマンス