カメラ方式・ビームプロファイラ

 カメラ方式・ビームプロファイラ

カメラ方式のビームプロファイラシステムは、カメラ本体、 ビームプロファイラのソフトウェア、減光用アクセサリで構成されています。 オフィール・スピリコンでは業界一の豊富なラインナップでカメラセンサをご用意しており、13nmの遠紫外から3000µmのEUVまで対応可能です。ほとんどの波長域でUSBおよびFireWireインターフェースが利用可能で、ノートパソコンまたはデスクトップでもご使用頂けます。
プロファイリング・ソフトウェアであるBeamGage®には、スタンダード、プロフェッショナル、エンタープライズの3つのバージョンがあります。Beamgageプロフェッショナルはスタンダードのアップグレード版、エンタープライズはプロフェッショナル版のアップグレード版です。それぞれ新たなニーズに対応する機能を追加してリリースされました。オフィール・スピリコンでは非常に広範囲のアクセサリをご用意しており、減光、フィルタリング、ビーム分割、ビーム拡大/縮小、波長変換に対応可能です。またDUVからCO2までの波長域に対応可能です。各光学部品はモジュラー・タイプなので、それぞれ組み合わせを変えることでビームプロファイリングのあらゆる要求に対応できます。
データ取得とビームプロファイル解析ソフトウェア
BeamGageソフトウェアはMicrosoft Windows上で動作し、 最新のナビゲーションツールやマルチウインドウ環境でご使用頂けます。BeamGageでは、取得された多くのビーム空間特性データがISO標準に従って同じパラメータ上で精密に分析されます。したがって、各パラメータの合否判定にも使用できます。
  • ISO準拠のビームパラメータ
  • ビーム径(スリット、エネルギ、D4σ法)
  • セントロイドおよびピーク位置
  • 長軸 および 短軸
  • 偏心率
  • ビームの回転
  • ガウシアンフィット
  • フラットトップ解析 / 均一性
  • 拡散
  • Pointing stability
データ表示や視覚化のために、ユーザーは必要に応じて、表示される複数のウインドウの位置やサイズを変更できます。データ表示や視覚化の例としては、ライブビデオ表示、2Dトポグラフィッック表示、3D表示、ビームパラメータ計算値、合否判定付き統計値サマリ表、統計値やオーバーレイ表示付きストリップチャート表示(時間変化)などがあります。ユーザー側で画面表示設定を保存することができるので、繰り返し使用する場合には便利です。データは表計算、数学的処理、合否判定、統計分析などのプログラムや制御プログラム(ファイルやCOMポートへのログ、LabView/AxtiveXオートメーションによるデータ共有による)へ出力可能です。
  • ビデオ・デュアル・アパチャ
  • ビーム統計値
  • 3Dプロファイル
  • 2Dトポグラフィック・ビュー
  • 時間統計チャート
  • ポインティング / ターゲッティング
  • 不要な項目・機能の非表示設定
  • メモ
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