オフィール・レーザパワー／エネルギメータの校正とトレーサビリティ

Burt Mooney, Ophir-Spiricon, LLC

レーザが発明された時に、科学者が次に考えたことはおそらくレーザをどのように測定したらよいかということではないでしょうか。レーザパワー／エネルギーメータはそのような背景をもとに開発されてきました。

S高い単色性、集光性、指向性、干渉性などが特徴のレーザは、簡単に表現すると濃縮された熱源であることから、レーザ出力測定には熱センサ方式が最適だと推測されました。熱を測定するには熱電対（Thermocouple）を、光を測定するにはフォトダイオードセンサを採用した測定方法が最も簡単な測定方法です。当時は最新技術を駆使して出力測定センサの原型にあたるデバイスを開発した技術者もおりました。その後、センサからの測定結果を高速応答で表示するためのディスプレイの開発が進み、レーザの出力調整用途として使用されてきました。初期に開発されたレーザ出力測定器は、指針表示のアナログメータでした。

オフィール・レーザパワー／エネルギメータの校正とトレーサビリティ

Dr. Ephraim Greenfield, CTO, Ophir Optronics

1. 概要
2. 様々な誤差とトータル測定誤差
3. パワー校正とエネルギ校正
4. パワー／エネルギ校正誤差

レーザパワー／エネルギ測定

オフィール社のレーザパワー／エネルギセンサヘッドはスマートヘッドテクノロジーを採用しているので、いずれのディスプレイ／インターフェースに接続しても互換性があります。（センサヘッドの正式名称の末尾にSHとあるのはSmart Headの略です。）センサヘッドのコネクタ部分（SHコネクタ）のロムに校正情報など全てのデータが書き込まれています。スマートヘッドテクノロジーはオフィール社のフォトダイオード、サーモパイル、パイロエレクトリックセンサヘッド、スキャンビームやメディカル用のセンサヘッドおよび一部のOEMセンサに採用されています。

Ophir社の校正能力

レーザ出力測定器に一番重要なのは校正です。Ophir本社（イスラエル）では校正に使用する数多くのレーザを保有しているのでお客様のご希望に添った波長帯域で出荷校正および再校正を行っております。Ophir社ではNISTトレーサブルの常用基準器を複数台設置しています。 （（株）オフィールジャパン、ドイツ、アメリカでも定期校正を承っております。Ophir本社が使用している基準器と同等品を複数台保有、標準基準器として、グローバルに精度の徹底管理を行っております。オフィールジャパンでは最大出力1kWでの校正能力があります。） オフィール本社では、標準カタログ製品に対して校正波長リストに掲載されている波長で出荷校正しています。（特別な校正波長のご依頼を除きます。また最新情報はオフィールジャパンまでお問い合わせください。）センサヘッドはフラットな波長感度特性となっているので、複数の波長帯域で校正することにより、広波長帯域において精度内で測定することができます。センサの種類によっては、一般的に波長感度特性の起伏が大きいタイプもありますので、波長における追加誤差も別途ご参照ください。