レーザダイオード、面発光レーザ、光ファイバ、ウェーブガイドなどのレーザソースのニアフィールド計測は難しいものです。それら小さいソースのミクロンレベルの正確な計測には光学および機械的な設計において高度の正確さが要求されます。Photon（オフィール・フォトン）の各種ニアフィールド･プロファイラ(NFP)はこの計測を容易にし、かつ要求される精度も満たすものであり、広波長域の様々なパワーレベルをカバーしています。また、これらの装置の重要なメリットは集光レーザスポット径が拡大できることです。それによりパワー密度を減少させることができるので、アッテネータなしでは計測できなかった高出力ビームの計測や、小さすぎて標準スキャンヘッドでは正確に計測できないビームの計測が可能になります。ナノスキャン（NanoScan）やNFP（NanoScan Near–Field Profiler）は、操作が簡単なターンキーシステムで、単独での使用のほか製造検査システムへの組込みも可能です。
現在のNanoScanシステム機能を拡張させたいと考えているユーザのために、アクセサリとして各種光学部品およびメカニカル･パーツをご用意しています。

NFP-980 は60:1の倍率と1µm の分解能を持ち, 特に980 nm ポンプレーザ計測用にデザインされたものですが、波長域700nm-1100 nmでの用途にも最適です。NFP-1550 は40:1 の倍率と2.6µm の分解能を持ち、1300nm-1600nm の光通信波長帯域の計測用にデザインされたものです。両機種ともNanoScan GE/9/5 スキャンヘッドと対物レンズが含まれますが、それらは光学精密XYZ ステージ上に強固に設置されたあと、さらに光学レールにマウントされます。またシステムにはナノスキャン（NanoScan）コントロール、データ取得カード、ナノスキャン（NanoScan）解析ソフトウェアも含まれ、ファイル保存･印刷･通信などの全てのWindows標準機能やActiveX 機能も備えています。

可視域については、NFP-VIS があり、ナノスキャン(NanoScan) SI/9/5 スキャンヘッド、400-700nm 域でのARコート付き60:1対物レンズが装備されています。360nm以下のUV波長域についてはオプションとしてUV補正対物レンズが用意されています。より高出力･長波長のビームに対してはNFP-Pyroをご用意しており、190nm から 20µmの任意の波長で5µm以上のスポット径を計測できます。この装置構成では通常、入射パワー密度は倍率のルート分の１に減衰されます。装置にはユーザにより指定された波長用のレンズが装備されます。

面発光レーザの接合、シングルモード･ファイバや長波長LD接合を確認するためにオプションとして100:1 の対物レンズをご用意しています。これは400-700nmで回折限界値を得ることができ、作動距離は約0.25-0.35mm で開口数は0.90となります。700-1600nmでは、このレンズは回折限界に近い性能を示します。

ナノスキャン・ニアフィールドプロファイラ・システム

パラメータ	NFP-VIS	NFP-980	NFP-1550	NFP-Pyro
波長域	400-700nm <360nm オプション	700-1100nm	1300-1700nm	190->20µm
レンズによる拡がり	0.49μm	1.1μm	2.6μm	仕様は波長およびアプリケーションに依存します。
Maximum Source	140μm	140μm	200μm
対物レンズ焦点距離	3mm	3mm	5.1mm
対物レンズ後方焦点距離	160mm	160mm	207mm
対物レンズ開口数	0.85	0.85	0.48
対物レンズ倍率	60:01:00	60:01:00	40:01:00
NanoScan モデル	NSSI/9/5	NSGE/9/5	NSGE/9/5	NSPyro/9/5
開口径	9mm	9mm	9mm	9mm
スリット幅	5μm	5μm	5μm	5μm
3軸ステージ移動距離
X (レールに対し横方向)	13mmマイクロメータによる調節
Y (レールに対し垂直方向)	6.5mmファインピッチ･アクチュエータ
Z(レール方向)	13mmマイクロメータによる調節

モデル名	製品概要	製品番号

Model NFP-2512	12ビット、デジタル1/2インチフォーマットCCDカメラ、可視光のニアフィールド解析およびATP-Kバリアブルアッテネータで近赤外光の解析用に設計。波長帯域360nm-1100nm。60:1の倍率とNA0.85。	PH00142

Model NFP-2523	12ビット、デジタル2/3インチフォーマットCCDカメラ、可視光のニアフィールド解析およびATP-Kバリアブルアッテネータで近赤外光の解析用に設計。波長帯域360nm-1100nm。60:1の倍率とNA0.85。	PH00143

Model NFP-2323	ビームプロ（BeamPro） 2/3インチCMOS カメラ。可視光のニアフィールド解析およびATP-Kバリアブルアッテネータで近赤外光の解析用に設計。長帯域360nm-1100nm。60:1の倍率とNA0.85。	PH00144

Model NFP-1550(NS)	NFP-1550ナノスキャンシステム、ゲルマニウムディテクタ、有効口径9mm、5µmスリット。高分解能、ヘッド直径63.5mm、回転式マウント、波長帯域700nm 〜1.8ミクロン。	PH00138

Model NFP-980(NS)	NFP-980ナノスキャン、ゲルマニウムディテクタ、有効口径9mm、5.0µmスリット。高分解能、ヘッド直径63.5mm、顕微鏡対物レンズマウント（60:1の倍率）、波長帯域700-1100nm。	PH00139

Model NFP-VIS(NS)	NFP-VISナノスキャン、シリコンディテクタ、有効口径9mm、5.0µmスリット。高分解能、ヘッド直径63.5mm、顕微鏡対物レンズマウント（60:1の倍率）、波長帯域400-700nm。	PH00140

Model NFP-Pyro	NFP-NS-パイロナノスキャン、パイロエレクトリックディテクタ、有効口径9mm、5.0µmスリット。波長帯域1900-20µm（注文時に波長指定ください）。レンズマウント・ブラケット（十分に補正された非球面、高エネルギ60：1レンズ、0.68NA、波長範囲400nm-1100nm）	PH00141

ビームプロファイラカタログ
107ページ(8.12 MB)