フォトン(Photon)のナノスキャン(NanoScan)は世界的に定評あるBeamScanの使いやすさや汎用性の高さを継承し、機能がさらに拡張されたスキャニングスリット・プロファイラです。NanoScanのスキャンヘッドは紫外光から赤外光に渡る全波長域のCWおよびパルスレーザビームに対応できるラインアップとなっています。

機能

ナノスキャン（NanoScan）のデジタル・コントローラは、PCIまたはUSB2インターフェースを介して64ビット Windows 7を含む最新のマイクロソフトOSで動作し、光パワーでダイナミックレンジ35dBまでの信号を12ビットでデジタル化します。デジタル・コントローラによりビームプロファイル測定の精度と安定性は数桁向上します。ビーム径やビーム位置は数百nmの精度(3σ)で測定できます。スキャンスピードと"ピーク・コネクト" アルゴリズムはソフトウェアでコントロールできますが、全てのディテクタ(*下記注釈参照)で数kHzかそれ以上のパルスレーザやパルス幅変調レーザの計測が可能です。またドラムスピードも変えられますので、どのスキャンヘッドに対してもダイナミックレンジを拡大でき、作動領域は格段に広くなります(作動領域チャート参照)。

・全てのナノスキャン（NanoScan）システムはNISTトレーサブルな校正により絶対精度を保証
ビームは0.3秒以下で認識され、最大20Hzでリアルタイムに表示。また、ActiveXサーバを経由して自動検査装置への組み込みが可能。
ナノスキャン（NanoScan）では、Z軸成分の測定は±25μmの精度で行われるので、ビームウエストの位置を簡単かつ正確に知ることが可能。
パルスレーザのビーム径測定と同時に、ナノスキャン（NanoScan）では繰返し周波数も正確に測定しレポートするので、パルスビーム測定が安定して正確に実現。
ビーム測定のサンプリング間隔は最小5.7nmで設定可能なので、極小ビームを高精度で測定。
プロファイル平均やローリング平均によりプロファイルのノイズを除去。
ナノスキャン（NanoScan）ソフトウェアにはメカニカル・リニアステージを制御する機能が組み込まれており、様々な位置でのビーム径を自動計測が可能。
ソフトウェアにはM²ウィザードがありますので伝搬ファクタM²の測定が容易に。
全てのISOビーム・パラメータの時間変化が表示。ActiveXオートメーションが標準装備されており、Excel VBA、LabView、Visual Basic.net用のオートメーション・プログラム例も含む。
ファイルやCOMポートへのデータ・ロギングが可能。

*注釈）最小周波数はビーム径とスキャンスピードの関数です。つまり、プロファイルを得るためには、スリットがビームをスイープする間に十分な数のパルスが必要となります。下記の「スリット・プロファイラでのパルスビーム計測」をご参照ください。

マルチビーム解析ソフトウェア

ナノスキャン（NanoScan）には、Microsoft Windows Platformのための統合ソフトウェアパッケージがあります。これにより1から16 のビームをナノスキャン（NanoScan）アパーチャにてサブミクロンの精度で計測できます。ソフトウェアにはActiveXオートメーションが含まれていますので、ユーザはナノスキャン（NanoScan）をOEMシステムで使用でき、独自のユーザインターフェース画面を作ることができます。

レーザパワーメータ(オプション)

シリコンとゲルマニウムのナノスキャン（NanoScan）システムには高精度75mW または200mWのパワーメータ機能(オプション)があります。パワーメータ機能は、ユーザが使用しているISOまたはNISTにトレーサブルなパワーメータと対照しての校正が可能です。P200パワーメータでは石英アッテネータ・ウィンドウが使用されていますので、校正時と同様の配置で計測すれば広波長域において一定の感度が得られ、精度は1.5%となります。P75パワーメータではさらにフラットな感度を持つKodak Wratten フィルタが使われていますので、精度は1%となります。ただし、上限のパワーリミットは75mWで、フィルタも使用波長専用のものを使わなければなりません。パワーメータ画面にはトータルパワーおよび計測されるそれぞれのビームのパワーが表示されます。パイロエレクトリック・ディテクタはパワーレベルや波長域が広いので特にオプションはありません。

M²ウィザート

Mスクウェア (M²) ソフトウェア・ウィザードは、ナノスキャン（NanoScan）のデータ取得・解析ソフトウェア (バージョン1.2以上)に含まれています。（詳細はカタログのM²のセクションを参照して下さい。）

ディテクタの種類

ナノスキャン（NanoScan）ではシリコン、ゲルマニウム、パイロエレクトリック・ディテクタが使用でき、紫外光から100µmを超えた赤外光の範囲をカバーします。スキャンヘッドにはサイズ、アパーチャ、スリット幅が異なったモデルをご用意しています。

Accumulated Pointing Window

スリット・プロファイラでのパルスビーム計測

パルスレート、パワー、損傷への考慮

ナノスキャン（NanoScan）はもともと連続発振 (CW) レーザ用に開発されたものですが、パルスモードで発振するレーザも数多くあります。それらの計測には普通CCDアレイ・プロファイラが用いられます。これは紫外や可視域の低出力レーザには合理的な方法ですが、ビームの減衰が必要です。しかし、紫外・可視域以外での計測用カメラは極めて高価なものとなります。1Hzから1000Hzの繰返し周波数の低いパルスレーザの計測の場合、アレイ・プロファイラに代わるものはありませんが、ナノスキャン（NanoScan）ではkHzの周波数のレーザの計測が行えます。ナノスキャン（NanoScan）プロファイラでは"ピーク・コネクト" アルゴリズムが用いられており、スキャン・スピードを調整することでこれらのパルス計測が可能となります。また、ピーク・コネクト・アルゴリズムの機能を最大限活用するために実際の繰返し周波数も測定されます。ナノスキャン（NanoScan）はQスイッチ・レーザやパルス幅制御（PWM）されたレーザの計測に最適です。近年、ピコ秒、フェムト秒パルスが様々な分野で使用されるようになりました。これらのパルスの測定は、さらに複雑さが加わりますが、ナノスキャン（NanoScan）はやはり最適なソリューションです。これら様々なパルスレーザの計測については後述します。

パルス幅制御(PWM)レーザ

多くのレーザ、特にCO2レーザはパルス幅制御(PWM) によりパワーレベルをコントロールしています。正確に言うと、デューティ・サイクルを狭めることで平均出力を下げています。レーザ発振はCWのように見え、ほとんどの作業者はパルス発振とは認識していません。しかし、スキャニング・スリット・プロファイラでPWMレーザの計測を行う場合、パルスレーザとして扱わなければなりません。ナノスキャン（NanoScan）のパルス・モードを使う場合はレーザのパルス周波数は数kHz以上でなければなりません。また、周波数とビーム径の関係ですが、意味のあるプロファイルを得るためにビーム全体に対し十分なパルス数が必要です。最低でも15パルスが望ましいです。PWMレーザは通常10kHz程度で動作します。ビーム径と周波数の関係は簡単な数学です。ナノスキャン（NanoScan）のドラムのスピードは1.25Hzから20Hzでコントロールされています。ナノスキャン（NanoScan）のドラムには2つのサイズがあります。標準は直径42mmですが、大きなアパーチャで高出力パワーヘッド用の直径84mmのドラムもあります。 42mmのドラムを1.25Hzで回転させると、スリットは1秒間で116.6mmすなわち1msで116.6µm進みます。10kHzのレーザの場合、直径175µmのビームをスリットが通過する間にスリットは15パルスを受けることになります。これは意味のあるプロファイルを得るのに十分なデータ量です。ビームが小さければ早い繰返しが必要となり、ビームが大きくなるほど繰返しは遅くてもよいことになります。例えば、直径1.0mmのビームの場合、2kHz程度のパルスレートでプロファイルが計測できます。

大小2つのドラムおよび回転速度に対する最小ビーム径とパルス周波数の対応表を巻末に載せてあります。ただし、1.25Hzでのスキャンはパルスビームの測定に用いることを推奨しますが、ビーム径が十分大きい場合やパルスレートが十分速い場合、スキャンスピードを2.5Hz以上に上げることで計測時間は短くて済みます。パルスレートやビーム径に対しスキャンスピードが速すぎる場合、ナノスキャン（NanoScan）ソフトウェアで警告メッセージが現れます。この警告アルゴリズムはビームスキャンの際、最低15パルスが与えられ最低2%の精度が得られることを基準としています。

Qスイッチレーザ

kHzオーダーのパルスレートで動作する他のパルスレーザにはQスイッチレーザがあります。これらのレーザでは、有効パワーを上げるためにパルス化が行われています。レーザパワーを短パルスに集中することで平均出力は低いながらもピーク出力が上がります。これらのレーザの測定には同様のパルスレートとビーム径の数学的関係が適用されますが、多少複雑さが加わります。平均出力が作動領域内であってもパルスのピーク出力がナノスキャン（NanoScan）の損傷しきい値を超える場合があります。CWビームではパワー (P) がWで、パルスビームではエネルギ(E)がJの単位で表されます。したがって、ナノスキャン（NanoScan）でのビームのエネルギ (Epulse) の計測が減衰なしでできるかどうの判断が必要となります。

したがって、平均出力が300Wでパルスレートが8kHzのビームのエネルギは次式で計算されます。

パルスあたりのパワー密度もパルス持続時間τの関数であり、このことはプロファイラの損傷について理解する上で重要です。上の例で、パルス持続時間が1msとすると、以下のようになります。

ピコ秒およびフェムト秒レーサ

パルス持続時間がピコ秒およびフェムト秒のように非常に短いパルスレーザでは、パルスのピーク出力は極めて大きくなります。したがって、これらのビームを安全に計測できるスキャンヘッドのタイプの選択はさらに複雑なものとなります。スキャンヘッドの作動領域を決めるのに用いられる平均出力に加え、パルスのエネルギ密度を知る必要があります。エネルギ密度はアパーチャの損傷しきい値以下でなければならず、また減衰なしで直接計測するために平均出力はスキャンヘッドの作動領域内になければなりません。まず上のEpulseの式を使ってエネルギ密度を求めてください。

ほとんどのピコ秒とフェムト秒レーザは、繰返し周波数が高く平均出力が低いので、ビームの有効パワーを増大させるためにパルス持続時間を短くしています。典型的なレーザでは平均出力が1.0W、繰返しが80kHzです。このレーザのEpulseは次のようになります。

この値を下記の式に代入してエネルギ密度を計算します。エネルギ密度の単位はJ/cm²です。つまり、長さの単位はcmに直す必要があります。ビームが極端に円形からずれていなければ、簡単のためビームを円と考えます。

ビーム径が100µmでエネルギが12.5μJの場合は以下の通りです。

エネルギ密度が計算されると、それはアパーチャの損傷しきい値や波長特性と比較されます。標準の黒色スリットでは、わずか10mJ/cm²で黒色面の蒸発が始まります。このため、ピコ秒およびフェムト秒レーザ用スキャンヘッドは、ディテクタ・タイプやレーザの平均出力にかかわらず、反射性です。レーザの波長もアパーチャの耐久エネルギー密度に影響します。標準のニッケル合金スリットでは、波長域190nmから400nmで最大エネルギ密度は600mJ/cm²です。400nm以上では1.0J/ cm²です。高出力用の銅では、波長域700nmから3µmで2.5J/cm²、3µm以上で5J/cm²です。波長700nm以下での銅スリットの使用はお勧めしません。右の表は、パルスエネルギとアパーチャ材質とレーザ波長を考慮したアパーチャのしきい値との関係を計算する代わりに用いられるものです。上の例では、ビーム径100µmでのエネルギ12.5µJは600mJの損傷ラインの下にきますが、黒色アパーチャのしきい値レベルを超えています。

最小ビーム径（パルス周波数毎）
NanoScan	ノーマルドラム					ラージドラム(HP)
ローテンションレート(Hz)	1.25	2.50	5.00	10.00	20	1.25	2.50	5.00	10.00
スリットスピード(µm/msec)	116.63	233.25	466.50	933.01	1866.01	233.25	466.50	933.01	1866.01
データポイント(プロファイル毎)	15	15	15	15	15	15	15	15	15
パルス周波数(kHz)	最小ビーム径(µm)					最小ビーム径(µm)
0.5	3499	6998	N/A	N/A	N/A	6998	13995	N/A	N/A
1	1749	3499	6998	N/A	N/A	3499	6998	13995	N/A
2	875	1749	3499	6998	N/A	1749	3499	6998	13995
3	583	1166	2333	4665	N/A	1166	2333	4665	9330
4	437	875	1749	3499	6998	875	1749	3499	6998
5	350	700	1400	2799	5598	700	1400	2799	5598
6	292	583	1166	2333	4665	583	1166	2333	4665
7	250	500	1000	1999	3999	500	1000	1999	3999
8	219	437	875	1749	3499	437	875	1749	3499
9	194	389	778	1555	3110	389	778	1555	3110
10	175	350	700	1400	2799	350	700	1400	2799
11	159	318	636	1272	2545	318	636	1272	2545
12	146	292	583	1166	2333	292	583	1166	2333
13	135	269	538	1077	2153	269	538	1077	2153
14	125	250	500	1000	1999	250	500	1000	1999
15	117	233	467	933	1866	233	467	933	1866
16	109	219	437	875	1749	219	437	875	1749
17	103	206	412	823	1646	206	412	823	1646
18	97	194	389	778	1555	194	389	778	1555
19	92	184	368	737	1473	184	368	737	1473
20	87	175	350	700	1400	175	350	700	1400
21	83	167	333	666	1333	167	333	666	1333
22	80	159	318	636	1272	159	318	636	1272
23	76	152	304	608	1217	152	304	608	1217
24	73	146	292	583	1166	146	292	583	1166
25	70	140	280	560	1120	140	280	560	1120
50	35	70	140	280	560	70	140	280	560
100	17	35	70	140	280	35	70	140	280
150	12	23	47	93	187	23	47	93	187

コリメーション

コリメーション・フィクスチャを用いた単一パルスの計測では、レーザビーム・コリメーションを決定するのに必要な全ての計測が極めて容易に行えます。リアルタイムで光学アライメントが行われるので、ベストのコリメーションが得られます。計測に特別のトレーニングは不要です。他の簡易測定法とは異なり、高精度のコリメーション測定が、非常に高い分解能で行われます。測定に必要なのはテストレンズ1枚とナノスキャン（NanoScan）です。ナノスキャン（NanoScan）は、レンズの焦点位置でのビーム径が測定できるように配置します。理論的にコリメーション角度は次の式で求まります：q = Df / f、ここでq はコリメーション角度、Df は焦点位置でのビーム径、fはレンズの焦点距離。つまり、焦点位置でのビーム径が分かれば、それを焦点距離で割ればコリメーション角度が求まります。ナノスキャン（NanoScan）が固定された状態で、アライメントがりアルタイムで行えます。この簡単で素早い測定は、複数位置でのプロファイル計測を行う技術では不可能です。

コリメーション・フィクスチャ

拡がり角/コリメーション試験装置ではコリメートされたビームまたは通常のビームを集光させるための高品質のテスト・レンズが用いられますが、同時にコンプリートな NanoScanシステムも必要です。

COL-FXT 250	焦点距離250mmレンズ。迷光を遮断するエンクロージャ付
COL-FXT 250 TEL	焦点距離250mmレンズ。波長1310 または1550nm用でレンズ位置調整機能および迷光を遮断するエンクロージャ付
COL-FXT 500 MIR	波長 3‒5µm用
COL-FXT C02	セレン化亜鉛 (ZnSe) レンズで焦点距離190.5mm、波長10.6m用。調整可能なアイリス装備のエンクロージャ付。パイロNanoScanシステムが必要。

NanoScan用レイリー・レンジ変換試験装置

Photonのレイリー・レンジ変換試験装置(RAL-FXT)はナノスキャン（NanoScan）のスキャンヘッド・アセンブリを移動させ、光軸上の相対位置の読みを変えることができる便利な装置です。ユーザの集光レンズとナノスキャン（NanoScan）のM²ウィザードとから、レーザのM²値が簡単に素早く求まります。RAL-FXTはキャリッジとデジタル・マイクロメータをスライドさせて、ベースプレートを特徴付けます。ベースプレート(5.4×10.2×0.38インチ) には一連の1/4−20の取付け穴が2インチ間隔で配置されているので、アセンブリを取り付けるのに便利です。スライド式のキャリッジには、Photonの全てのスキャンヘッド回転マウントに共通の0.125インチの合わせピンと1/4−20取付け穴があり、スキャンヘッドを6インチの範囲でスムーズに動かすことができます。ミツトヨの再リセット機能付マイクロメータが用いられているので、スキャンヘッド位置、移動距離が数十ミクロンの精度で正確に測定されます。

ご不明点は、info@ophirjapan.co.jpまでお問合せください。

NanoScan露光リミット自動計算式

NanoScan（ナノスキャン）仕様
ディテクタ	パワーレンジ	波長帯域	有効口径	スリット	スキャンヘッドサイズ
シリコン	~100nW-~100mW	190nm-1000nm	3.5mm	1.8µm	63mm
				1.0µm
			9mm	5µm	63mm
				25µm
			25mm	25µm	100mm
ゲルマニウム	~1µW-~100mW	700nm-1800nm	3.5mm	1.8µm	63mm
				1.0µm
			9mm	5µm	63mm
				25µm
			25mm	25µm	100mm
パイロエレクトリック	100mW-100W	190nm- >100µm	9mm	5µm	63mm

シリコン

ゲルマニウム

パイロエレクトリック

NanoScan作動領域チャート（シリコンディテクタ）

シリコンディテクタ：感度は波長に依存、ディテクタ波長帯域(190-950nm)。ピーク感度は0.4 amps/W@850nm。感度のテクターによる個体差は±20%。

パワー： 測定されたレーザビームのパワーです。円形ビームを想定。楕円ビームの場合は長軸の最大値をビーム径とし、全てのエネルギはこのビーム径内にあると仮定します。極端な楕円ビーム(比>4:1)については、別途お問い合わせ下さい。

NanoScan作動領域チャート（ゲルマニウムディテクタ）

感度は波長に依存します。測定波長範囲は700-1800nmです。ピーク感度は 0.7 A/W @ 1550nmです。感度のディテクタによる個体差は±20%となります。

パワー: 測定されたレーザビームのパワーです。円形ビームを想定。楕円ビームの場合は長軸の最大値をビーム径とし、全てのエネルギはこのビーム径内にあると仮定されます。極端な楕円ビーム(比 >4:1)については、別途お問い合わせ下さい。

ビーム径: 円形レーザスポットが細いスリットで計測。クリップレベル法。

NanoScanオペレーション・スペースチャート（パイロエレクトリックディテクタ）

パイロエレクトリックディテクタ：波長域 0.2 – 20µmで感度一定です。

ナノスキャンシステム・製品番号

全てのNanoScanシステムには、Microsoft Windows OS上で動作するNanoScanのスキャンヘッド用のビーム解析ソフトウェアが付属しています。シングルおよびマルチパルス解析に対応し、ActiveX オートメーションも含まれています。測定にはスポット径、位置、位置の変化による特性変化などが含まれ、位置を1/e2 の等高線でプロットするためのスクリーンも含まれます。 PCIナノスキャン・コントローラカード：PC用12ビット・デジタイザ付PCIバスカード。カードはデータ取得およびシステム制御用。3m憑依準ケーブル、USB NanoScanコントローラ：USB 2.0 コントローラはPCI バスカードの代わりとして、 NanoScanとPCのUSB 2.0 ポートのインターフェースとして働きますが、NanoScanの性能には無関係。校正証明書：ビーム幅はNIST(National Institute of Standards and Technology)トレーサブルであり、精度は±2%以上 (パイロエレクトリック・ディテクタの場合は±3%)。

パイロエレクトリックディテクタ・ナノスキャン(NanoScan)をお探しの方は、ハイパワーナノスキャンのページをご参照ください。

モデル名	製品概要	製品番号

PCI NS-Si/3.5/1.8	ナノスキャン・シリコンディテクタ：有効口径3.5mm、1.8ミクロンスリット。高分解能シリコンディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口3.5mm、1.8ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <1µm（1.06 µm除く）、PCIカード。	PH00001

PCI NS-Si/3.5/1.0	ナノスキャン・シリコンディテクタ：有効口径3.5mm、1.0ミクロンスリット。高分解能シリコンディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口3.5mm、1.0ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <1µm（1.06 µm除く）、PCIカード。	PH00002

PCI NS-Si/9/25	ナノスキャン・シリコンディテクタ：有効口径9mm、25ミクロンスリット。高分解能シリコンディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口9mm、25ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <1µm（1.06 µm除く）、PCIカード。	PH00003

PCI NS-Si/9/5	ナノスキャン・シリコンディテクタ：有効口径9mm、5ミクロンスリット。高分解能シリコンディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口9mm、5ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <1µm（1.06 µm除く）、PCIカード。	PH00004

PCI NS-Si/25/25	ナノスキャン・シリコンディテクタ：有効口径25mm、25ミクロンスリット。高分解能シリコンディテクタヘッド：有効口径100mm、回転マウント付き、入射口25mm、25ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <1µm（1.06 µm除く）、PCIカード。	PH00005

PCI NS-Ge/3.5/1.8	ナノスキャン・ゲルマニウムディテクタ：有効口径3.5mm、1.8ミクロンスリット。高分解能ゲルマニウムディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口3.5mm、1.8ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域700nm 〜 <1.8µm、PCIカード。	PH00006

PCI NS-Ge/3.5/1	ナノスキャン・ゲルマニウムディテクタ：有効口径3.5mm、1.0ミクロンスリット。高分解能シリコンディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口3.5mm、1.0ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域700nm 〜 <1.8µm、PCIカード。	PH00007

PCI NS-Ge/9/25	ナノスキャン・ゲルマニウムディテクタ：有効口径9mm、25ミクロンスリット。高分解能ゲルマニウムディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口9mm、25ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域700nm 〜 <1.8µm、PCIカード。	PH00008

PCI NS-Ge/9/5	ナノスキャン・ゲルマニウムディテクタ：有効口径9mm、5ミクロンスリット。高分解能ゲルマニウムディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口9mm、5ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域700nm 〜 <1.8µm、PCIカード。	PH00009

PCI NS-Ge/12/25	ナノスキャン・ゲルマニウムディテクタ：有効口径12.5mm、25ミクロンスリット。高分解能ゲルマニウムディテクタヘッド：有効口径100mm、回転マウント付き、入射口12.5mm、25ミクロン幅スリットのペアと適合。PCIカード。	PH00010

USB NS-Si/3.5/1.8	ナノスキャン・シリコンディテクタ：有効口径3.5mm、1.8ミクロンスリット。高分解能シリコンディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口3.5mm、1.8ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <1µm（1.06 µm除く）。USB。	PH00015

USB NS-Si/3.5/1.0	ナノスキャン・シリコンディテクタ：有効口径3.5mm、1.0ミクロンスリット。高分解能シリコンディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口3.5mm、1.0ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <1µm（1.06 µm除く）。USB。	PH00016

USB NS-Si/9/25	ナノスキャン・シリコンディテクタ：有効口径9mm、25ミクロンスリット。高分解能シリコンディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口9mm、25.0ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <1µm（1.06 µm除く）。USB。	PH00017

USB NS-Si/9/5	ナノスキャン・シリコンディテクタ：有効口径9mm、5ミクロンスリット。高分解能シリコンディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口9mm、5.0ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <1µm（1.06 µm除く）。USB。	PH00018

USB NS-Si/25/25	ナノスキャン・シリコンディテクタ：有効口径25mm、25ミクロンスリット。高分解能シリコンディテクタヘッド：有効口径100mm、回転マウント付き、入射口25mm、25.0ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <1µm（1.06 µm除く）。USB。	PH00019

USB NS-Ge/3.5/1.8	ナノスキャン・ゲルマニウムディテクタ：有効口径3.5mm、1.8ミクロンスリット。高分解能ゲルマニウムディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口3.5mm、1.8ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域700nm 〜 <1.8µm。USB。	PH00020

USB NS-Ge/3.5/1	ナノスキャン・ゲルマニウムディテクタ：有効口径3.5mm、1.0ミクロンスリット。高分解能ゲルマニウムディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口3.5mm、1.0ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域700nm 〜 <1.8µm。USB	PH00021

USB NS-Ge/9/25	ナノスキャン・ゲルマニウムディテクタ：有効口径9mm、25ミクロンスリット。高分解能ゲルマニウムディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口9mm、25ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域700nm 〜 <1.8µm。USB	PH00022

USB NS-Ge/9/5	ナノスキャン・ゲルマニウムディテクタ：有効口径9mm、5ミクロンスリット。高分解能ゲルマニウムディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口9mm、5.0ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域700nm 〜 <1.8µm。USB	PH00023

USB NS-Ge/12/25	ナノスキャン・ゲルマニウムディテクタ：有効口径12.5mm、25ミクロンスリット。高分解能ゲルマニウムディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口9mm、5.0ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域700nm 〜 <1.8µm。USB	PH00024

NS-PCI	NanoScan PCIカード/NS PCI	PH00029

NS-USB	NanoScan USBコントローラ/NS USB	PH00030

NH NS-Si/3.5/1.8	ヘッド単体、NanoScan-Si　有効口径3.5mm、1.8µm スリット	PH00031

NH NS-Si/3.5/1.0	ヘッド単体、NanoScan-Si　有効口径3.5mm、1.0µm スリット	PH00032

NH NS-Si/9/25	ヘッド単体、NanoScan-Si　有効口径9mm、25µm スリット	PH00033

NH NS-Si/9/5	ヘッド単体、NanoScan-Si　有効口径9mm、5µm スリット	PH00034

NH NS-Si/25/25	ヘッド単体、NanoScan-Si　有効口径25mm、25µm スリット	PH00035

NH NS-Ge/3.5/1.8	ヘッド単体、NanoScan-Ge　有効口径3.5mm、1.8µm スリット	PH00036

NH NS-Ge/3.5/1.0	ヘッド単体、NanoScan-Ge　有効口径3.5mm、1.0µm スリット	PH00037

NH NS-Ge/9/25	ヘッド単体、NanoScan-Ge　有効口径9mm、25µm スリット	PH00038

NH NS-Ge/9/5	ヘッド単体、NanoScan-Ge　有効口径9mm、5µm スリット	PH00039

NH NS-Ge/12/25	ヘッド単体、NanoScan-Ge　有効口径12mm、25µm スリット	PH00040

P75	75mW (最大パワーレベル) 相対値を計るオプションパワーメータ。P75は、Kodak Wrattenフィルタを使用しているので、高い計測均一性があり、NISTトレーサブルのパワーメータで校正し、校正された条件と同等の環境下であれば1％以下の精度。測定波長の制限があり、最大出力は75mW。パイロエレクトリック・ディテクスキャンヘッドとは使用不可。※P75は注文時にご指定ください。	PH00045

P200	200mW (最大パワーレベル) 相対値を計るオプションパワーメータ。P200は、NISTトレーサブルのパワーメータで校正し、校正された条件と同等の環境下であれば1.5％以下の精度。測定波長の制限があり、最大出力は200mW。パイロエレクトリック・ディテクスキャンヘッドとは使用不可。※P200は注文時にご指定ください。	PH00046

Cu5	5µm銅スリットの追加	PH00047

Cu10	10µm銅スリットの追加	PH00048

Cable-x	NanoScan用・ユーザ任意のケーブル長	PH00049

NS-YE	NanoScan用・3m延長ケーブル	PH00050

C-Mnt	NanoScan用Cマウント・アタッチメント	PH00051

NS Upgrade	NanoScan用ソフトウェア・アップグレード	PH00054

COL-FXT 250	焦点距離250mm　コリメーションフィクスチャ	PH00070

COL-FXT 250 TEL-X	焦点距離250mm　コリメーションフィクスチャ1550nm	PH00071

COL-FXT CO₂	焦点距離250mm　コリメーションフィクスチャ1550nm	PH00072

RAL-FXT	レイリーフィクスチャ、マニュアルM²	PH00073

RSP100	レールスキャン電動ステージ、100mm長	PH00078

RSP200	レールスキャン電動ステージ、200mm長	PH00079

RSP500	レールスキャン電動ステージ、500mm長	PH00080

H-I LA	ラージスキャンヘッド (100mm) 用・改造H-I	PH00082

H-I 980-VIS w/lens	NSレンズマウントブラケットおよび60倍レンズ、波長帯域980nm	PH00146

H-I 1550 w/ lens	NSレンズマウントブラケットおよび40倍レンズ、波長帯域1550nm	PH00081

H-I High energy IR	NSレンズマウントブラケット・波長/高エネルギレンズ　波長指定	PH00147

H-I 100X	NSレンズマウントブラケットおよび100倍レンズ、波長指定	PH00148

3180	デスクトップPC（MS Windows/Photonソフトウェアで動作）	PH00087

		ビームプロファイラカタログ 107ページ(8.12 MB)
		NanoScanマニュアル 202ページ (5.7 MB)