ナノモードスキャン (NanoModeScan) M2計測

M2 NanoModeScan

ISO 11146の計測パラメータ

  • ビームウエスト径
  • ビームウエスト位置
  • ビーム拡がり角
  • レイリーレンジ
  • 波長帯域:紫外(UV) – 遠赤外光(FIR) ※CO2を含む
概要
仕様
製品番号
カタログ/取説
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Photon(オフィール・フォトン)のナノモードスキャン(NanoModeScan)モデル1740は、CCDベースのプロファイラでは測定困難あるいは不可能な紫外や赤外のレーザビーム用の完全に自動化されたM2測定専用装置で、ナノスキャン(NanoScan)スリット・プロファイラを用いISO11146に準拠した計測を行います。ISO 11146法で計測する場合、光路上に置かれたレンズで作られるビームウエストの前後の少なくとも10点でビーム径の計測が必要です。5点は人為的に作られたビームウエストの2レイリーレンジ内に、また少なくとも他の5点以上はレイリーレンジ外になければなりません。セットアップが完了すれば、すべてのM2測定はわずか20秒ほどで終了し、M2、ビームウエスト径、ビーム位置、拡がり角、各軸のレイリーレンジがレポートされます。ナノモードスキャン(NanoModeScan)の測定スピードの速さはナノスキャン(NanoScan)スリット・プロファイラの広いダイナミックレンジに依るもので、ビームウエストやファーフィールドの計測時に減衰レベルを変える必要もありません。

ナノモードスキャン(NanoModeScan)では完全自動化処理としてレイリー法を用いてM2を測定することができます。レイリー法を選択すると、 モードスキャン(ModeScan)がウエストにつづき両軸のレイリー・ポイントを検出し、伝搬パラメータがISOに基づきレポートされます。 この方法は完全に自動化されたもので、作業者が行うのは最初のセットアップと波長とレンズパラメータの入力だけです。 ただ、ウエストとレイリー・ポイントを検出する分、ISO法よりは時間がかかります。測定時間は測定するレーザに依りますが、 2、3分を超えることはありません。メリットとしては、完全自動化なので作業者はその間、別の作業が行えます。

ナノモードスキャン(NanoModeScan)ではシリコン、ゲルマニウム、パイロエレクトリックのナノスキャン(NanoScan)プロファイラが使用可能なので、<200nmから10.6 µmの波長域のレーザのM2が計測できます。
NanoModeScan
ナノモードスキャン (NanoModeScan) 仕様
センサ/ディテクタ
スキャンヘッド移動長 500mm
光軸の高さ 140-170mm
水平距離微調整 19mm
角度微調整 ±2º 鉛直, ±1.4º 水平
標準レンズ 200mm EFL, BK-7平凸レンズ, 広帯域ARコート
400mm EFL, BK-7平凸レンズ, 広帯域ARコート この他にも紫外から遠赤外までのレンズをランナップ。
光学レンズ 200mm FL, 合成石英 UVコート
350mm FL, 合成石英 UVコート
190mm FL, IRレンズ 10.6μm
最小スポット径 スキャンヘッド仕様参照
コンピュータ/電気仕様
電源 スキャンヘッド仕様参照
ファイル保存とデータロギング Data files, ASCII Files
AC電源 110V 60Hz 標準
220V 50Hz オプション
通信 RS232インターフェースまたはUSB – RS232アダプタ要
機械寸法(mm)
NanoModeScan リニアステージ 812 × 102 × 78
Photonモーションコントローラ 273 × 89 × 57
アライメント・チャンネル 940 × 247 × 72
着脱式光シールド 787 × 777 × 110
重量
 NanoModeScan リニアステージ 8.4kg
 Photonモーションコントローラ 1.5kg
 アライメント・チャンネル 4.8kg
      モデル名 製品概要 製品番号  
     
ナノモードスキャン (NanoModeScan) M2計測  
         
  MSP-NS-SI/9/5-XXX 1740モードスキャン(ModeScan) :ナノスキャン(NanoScan)シリコン(Si)ディテクタ、有効口径9mm、5µmスリット・シリコンディテクタ、ヘッド口径63.5mm、入射口9mm、5ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <1µm(1.06µm除く)。 PH00083  
         
  MSP-NS-GE/9/5-XXX 1740モードスキャン(ModeScan) :ナノスキャン(NanoScan)ゲルマニウム (Ge)ディテクタ、有効口径63.5mm、入射口9mm、5ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域700nm 〜 <1.8µm。 PH00084  
         
  MSP-NS-Pyro/9/5-XXX Model 1740 ModeScan with NanoScan Pyroelectric Detector 9.0mm aperture 5μm slits. Pyroelectric detector, 63.5mm diameter head, 9mm entrance aperture, and matched pair of 5μm wide slits. PH00085  
         
  MSP-HPNS/9/5-XXX 1740モードスキャン(ModeScan) :ハイパワーナノスキャン(NanoScan-HP)ヘッド、パイロエレクトリックディテクタ、有効口径9mm、スリット5µm、ヘッド口径63.5mm、入射口9mm、5ミクロン幅スリットのペアと適合。ファン空冷・スキャンヘッド。 PH00086
         
ナノモードスキャン (NanoModeScan) アクセサリ  
         
  P75 75mW (最大パワーレベル) 相対値を計るオプションパワーメータ、標準200mWの代替え。P75は、Kodak Wrattenフィルタを使用しているので、高い計測均一性があり、NISTトレーサブルのパワーメータで校正し、校正された条件と同等の環境下であれば1%以下の精度。測定波長の制限があり、最大出力は75mW。シリコンおよびゲルマニウムスキャンヘッドと使用可能。※P75は注文時にご指定ください。 PH00045
         
  LENS 200 UV-XXX オプション200mm石英レンズ、波長帯域190–400nm PH00090
         
  LENS 400 UV-XXX オプション石英レンズ400mm、波長帯域190–400nm PH00091
         
  LENS 190 10.6 オプションレンズ、焦点距離7.5インチ、波長帯域10.6μm PH00092
         
  LENS 100 VIS オプションレンズ、焦点距離100mm、波長帯域400–700nm PH00093
         
  LENS 100 NIR オプションレンズ、焦点距離100mm、波長帯域650–1000nm PH00094
         
  LENS 100 LIR オプションレンズ、焦点距離100mm、波長帯域1000–1550nm PH00075
         
  CUSTOM LENS 波長と焦点距離をご指定ください。 PH00088
         
  Model 1740 モードスキャン(ModeScan)レール w/o スキャンヘッド PH00074
         
  1740 LENS PREP モードスキャン(ModeScan)カスタマイズレンズ PH00076
         
  1740 TRNG モードスキャン(ModeScan)オンサイト・オペレーショントレーニング PH00077
         
  USB MSP-NS-Si/9/5   モデル1740・ナノモードスキャン(NanoModeScan) 自動 M² 計測システム、USB NS-Si/9/5ナノスキャン採用。波長帯域190-1000nm(10.6µm除く)、テストレンズ200mmおよび400mm

PH00233

         
  USB MSP-NS-Ge/9/5 モデル1740・ナノモードスキャン(NanoModeScan) 自動 M² 計測システム、USB NS-Ge/9/5ナノスキャン採用。波長帯域700-1800nm、テストレンズ200mmおよび400mm PH00234
         
  USB MSP-NS-Pyro/9/5 モデル1740・ナノモードスキャン(NanoModeScan) 自動 M² 計測システム、USB NS-Pyro/9/5ナノスキャン採用。波長帯域700-1800nm、テストレンズ200mmおよび400mm

PH00235

         
  USB MSP-HPNS/10/5   モデル1740・ナノモードスキャ(NanoModeScan)自動 M² 計測システム、USB USB HPNS/9/5ハイパワーナノスキャン採用。波長帯指定。 PH00236
         
  200mm VIS レンズ、可視光200mm、BK7平凸、口径25.4mm PH00237
         
  400mm VIS   レンズ、可視光400mm、BK7平凸、口径25.4mm PH00238
         
  200mm NIR レンズ、200mm、NIR、BK7平凸、口径25.4mm PH00239
         
  400mm NIR    レンズ、400mm、NIR、BK7平凸、口径25.4mm PH00240
         
  200mm LIR レンズ、200mm、波長帯域1000-1550nm、平凸、口径25.4mm PH00241
         
  400mm LIR レンズ400mm、波長帯域1000-1550nm、平凸、口径25.4mm PH00242
         
  Beam Profilers ビームプロファイラカタログ
107ページ(8.12 MB)
  BeamGage NanoModeScanマニュアル
82ページ (2.42 MB)