計測の実際
高出力ビームの計測には注意が必要です。レーザによるスキャンヘッドの損傷、反射光による作業者や周辺へダメージを与える可能性があります。ハイパワーナノスキャン(High Power NanoScan)には、熱散逸特性が高い高反射部品が用いられていますので、高出力ビームの計測が可能です。その際、反射光のレーザ共振器内への戻りや周囲への散乱に注意することが重要です。部品の過度の加熱を防ぐために、スキャンヘッドは短いパルス持続時間で計測できるように設計されています。ヘッドは、パワーレベルに応じて10秒から60秒までの入射ビームを受け付けます。ハイパワーナノスキャン(High Power NanoScan)のスキャンヘッドはパワー密度が3.2MW/cm2 @ 10.6µm、200µmビーム@ 1kWで使用可能であることが実証されています。1000nm近辺の波長に対する部品の反射率は多少低いので、Nd:YAGやDPSSなどの工業用レーザではパワー密度の上限値は少し低くなります。可視域やUVレーザの計測も可能ですが、上限値はさらに低くなります。下記の表では3つの波長域においてのパルスビームの損傷しきい値を示しています。各線はスポット径に対する最大パルス・エネルギを示していますが、最大パルスエネルギ密度はそれぞれ次のようになっています: 5J/cm2 (3µm - 100µm )、 2.5J/cm2 (700nm-3μm)、250mJ/cm2 (UV-可視域, 190nm - 700nm)。パルスレーザの測定を行う場合、パルス・エネルギを計算して値がこれらの線より下にくることを確認します。値が線を超すようであればスキャンヘッド・アパーチャの損傷を起こすことになります。
パルスエネルギのダメージスレッショルド

ナノスキャン（NanoScan）露光リミット自動計算式

ハイパワーナノスキャン（High Power NanoScan）仕様

ディテクタ	パワーレンジ	波長帯域	有効口径	スリット	スキャンヘッドサイズ
パイロエレクトリック	~1W - ~5W（最大パワーは波長に依存）	190nm - > 100µm	9mm	5µm	100mm
パイロエレクトリック大口径	~1W - ~5W（最大パワーは波長に依存）	190nm - > 100µm	20mm	10µm	100mm

ハイパワーナノスキャン作動領域

標準パイロエレクトリックNanoScan作動領域

パイロエレクトリック･ディテクタ用NanoScan作動領域チャート

パイロエレクトリック･ディテクタ：波長域0.2 – 20μmで感度一定

ハイパワーナノスキャン・製品番号

全てのハイパワーナノスキャン(High Power NanoScan)システムにはファン冷却のスキャンヘッドが含まれます。対応波長は200nmから20µmで、許容最大パワーは波長とスポット径に依存します。詳細は作動領域チャートを参照ください。スリットとスキャン・ドラムは高反射性なので、ユーザは反射エネルギーを適切にダンプする必要があります。直接の後方反射光はレーザ共振器内での共振を引き起こしたり、適切に処理されない場合に重大な損傷を起こしたりする可能性があります。ナノスキャン統合ソフトウェア・パッケージ;Microsoft Windows (32 ビットバージョンのみ) 2000プロフェッショナル、XPプロフェッショナル、 Vistaに対応しています。
測定にはスポット径、位置、位置の変化による特性変化、プロファイルなどが含まれます。"ピーク・コネクト" アルゴリズムを採用し、ソフトウェアによりスキャンスピードを変えられるパルス幅変調(PWM)レーザの計測に最適です。ソフトウェアはデータ取得および記録とActiveXオートメーションを含みます。ナノスキャンPCIコントローラは、PC用12ビット・デジタイザ付PCIバスカードも付属します。カードはデータ取得およびシステム制御用です。 USBナノスキャン・コントローラは、USB 2.0コントローラはPCIバスカードの代わりとして、ナノスキャンとPCのUSB 2.0 ポートのインターフェースとして働きますが、ナノスキャンの性能には無関係です。半遠隔操作のために、10mケーブルがヘッドとPCIカード間用に付属しています。
校正証明書;NIST(National Institute of Standards and Technology)トレーサブルであり、精度は±3%以内です。

モデル名	製品概要	製品番号

PCI NS-PYRO/9/5	ナノスキャン・パイロエレクトリックディテクタ：有効口径 9.0mm、スリット5ミクロン。高解像度パイロエレクトリックディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口9mm、 5ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <20µm、PCIカード。空冷ファン含まず。	PH00011

PCI NS-PYRO/9/25	ナノスキャン・パイロエレクトリックディテクタ：有効口径 9.0mm、スリット5ミクロン。高解像度パイロエレクトリックディテクタヘッド：有効口径63.5mm、回転マウント付き、入射口9mm、 25ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <20µm、空冷ファン含まず。	PH00245

PCI NS-PYRO/20/25	ナノスキャン・大口径パイロエレクトリックディテクタ：有効口径20mm、スリット25ミクロン。高解像度パイロエレクトリックディテクタヘッド：有効口径100mm、回転マウント付き、入射口20mm、 25ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 <20µm、空冷ファン含まず。PCIカード。	PH00012

PCI NS-PYRO HP/20/10	ハイパワーナノスキャン・パイロエレクトリックディテクタ：有効口径20mm、スリット50ミクロン以上(1/e2)ダイレクト測定可能。CWレーザ、2KHz以上のパルスレーザ。最小パルスレートはビームサイズに依存。PCIカード。	PH00013

PCI NS-PYRO HP/9/5	ハイパワー・ナノスキャンヘッド：パイロエレクトリックディテクタ有効口径9mm、ハイパワービーム用スリット5ミクロン。パイロエレクトリックディテクタ採用・高分解能プロファイラ：有効口径100mm、回転マウントスキャンヘッド。入射口20mm、10ミクロン幅スリットのペアと適合。スポット径50 µm以上 (1/e2 口径)ダイレクト測定可能。 CWおよび2KHz以上のパルスレーザ。最小パルスレートはビーム径とスキャンレートに依存。PCIカード。	PH00014

USB NS-PYRO/9/5	ナノスキャン・パイロエレクトリックディテクタ：有効口径9mm、スリット5ミクロン。パイロエレクトリックディテクタ高解像度ヘッド、回転マウント付き、口径63.5mm、入射口9mm、5ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm〜>20µm。空冷ファンは含まず。USB。	PH00025

USB NS-PYRO/9/25	ナノスキャン：パイロエレクトリックディテクタ、口径9mm、スリット25ミクロン。パイロエレクトリックディテクタ採用・高解像度ヘッド、口径63.5mm、回転マウント付き、入射口9mm、25ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm 〜 >20μm。空冷ファンは含まず。	PH00228

USB NS-PYRO/20/25	ナノスキャン・大口径パイロエレクトリックディテクタ：有効口径20mm、スリット25ミクロン。パイロエレクトリックディテクタ採用・高解像度ヘッド、回転マウント付き、口径100mm、入射口20mm、25ミクロン幅スリットのペアと適合。波長帯域190nm〜>20µm。空冷ファンは含まず。USB	PH00026

USB NS-PYRO HP/20/10	ハイパワーナノスキャン：ハイパワービーム用、20mmパイロエレクトリックディテクタ・スリット10ミクロン。パイロエレクトリックディテクタ採用・高解像度ヘッド、回転マウント付き、口径100mm、入射口20mm、10ミクロン幅スリットのペアと適合。スポット径50 µm以上(1/e2 口径)ダイレクト測定可能。 CWおよび2KHz以上のパルスレーザ。最小パルスレートはビーム径とスキャンレートに依存。PCIカード。	PH00027

USB NS-PYRO HP/9/5	ハイパワーナノスキャン：ハイパワービーム用、9mmパイロエレクトリックディテクタ・スリット5ミクロン。パイロエレクトリックディテクタ採用・高解像度ヘッド、回転マウント付き、口径100mm、入射口20mm、10ミクロン幅スリットのペアと適合。スポット径50 µm以上(1/e2 口径)ダイレクト測定可能。 CWおよび2KHz以上のパルスレーザ。最小パルスレートはビーム径とスキャンレートに依存。PCIカード。	PH00028

NH-PYRO/9/5	ヘッドのみ、NanoScan-Pyro、有効口径9mm、スリット5µm	PH00041

NH-PYRO/9/25	ヘッドのみ、NanoScan-Pyro、有効口径9mm、スリット25µm	PH00243

NH-PYRO/20/25	ヘッドのみ、NanoScan-Pyro、有効口径20mm、スリット25µm	PH00042

NH-HP-NS/20/10	ヘッドのみ、ハイパワーNanoScan、有効口径20mm、スリット10µm	PH00043

NH-HP-NS/9/5	ヘッドのみ、ハイパワーNanoScan、有効口径9mm、スリット5µm	PH00044

		ビームプロファイラカタログ 107ページ(8.12 MB)
		ハイパワーナノスキャン・マニュアル 16ページ(490 KB)
		NanoScanマニュアル 202ページ (5.7 MB)