伝送ミラー

 0° Phase Shift Mirror

CO2レーザでは、共振器から加工ヘッドまでビームを伝送するために、一般的に1枚〜複数枚の伝送系ミラーが使用されます。ゼロシフトミラーはレーザパワーのロスを最小限に止め、最大限のパワーを反射するための伝送ミラーです。また反射光のs偏光とp偏光における偏光特性の位相変化を最小限に保持するので、共振器からのレーザビームの特性にほとんど影響を与えずに反射します。 加工品質はレーザビームの偏光状態に影響を受けます。ゼロシフトミラーのみで反射されたビームは直線偏光となり、切断方向により、均一な加工は出来ません。良好な加工をするには、90°シフトミラーで円偏光にして伝送する必要があります。

 90° Phase Shift Mirror

レーザビームの偏光特性は、切断方向によって加工の質に影響します。どの切断方向に対しても加工材を均一に鋭く切断するためには、90°シフトミラーでレーザを最適な偏光状態(円偏光)にすることが不可欠です。90°シフトミラーで反射されたビームのs偏光とp偏光はどの方向に対しても同じ量になりますので、均一的な切断に適しています。(ゼロシフトミラーで伝送されたままのビームは直線偏光で反射されるので、均一的切断に適しません。)90°シフトミラーは一般的に伝送系ミラーの最初か集光レンズの直前に設置されます。

Windows

CO2レーザ用ウインドウは繊細、高価な光学部品を保護する目的や、異なったガス圧でエリアを区分するために使用します。レーザビームの歪みを最小限に押さえるため、高い透過率、低吸収率が求められます。CO2レーザに対して透過率の高いZnSeを母材とした、両面ARコーティングを施した光学部品です。

TelescopicMirror

多くのアプリケーションにおいて、共振器で生成されたままの小さいビーム径では、発散角が大きすぎたり、出力密度が大きすぎたりして、必要とする加工に適さない場合があります。表面が凸面のミラーと、凹面のミラーの2枚で構成されているテレスコピックミラーにより、最適なビーム径に拡大することができます。材料には一般的に銅が使用されています。

ATFR

レーザアプリケーションによっては、ワークピースから共振器への、一部の戻り光によるリスクを考慮しなくてはなりません。そのようなトラブル回避のために、偏光特性を利用したATFRミラーが有効です。S偏光に対する反射率は一般的に約99%と高く、P偏光に対する反射率は1%以下です。