Strahlprofilmessung mit Scan-Schlitz

Bei der Strahlprofilmessung mit dem Schlitz-basierten Messgerät wird ein dem Fotosensor vorgelagerter schmaler Schlitz durch den zu analysierenden Strahl bewegt. Das durch den Schlitz fallende Licht induziert im Detektor einen elektrischen Strom. Der Schlitz des Schlitz-Scanners fungiert dabei als physikalischer Abschwächer. Über die einstellbare Vorverstärkung des Detektors lässt sich eine Saturierung des Detektors in den meisten Fällen verhindern. Ein digitaler Geber misst dabei die exakte Schlitz-Position. Der fotoinduzierte Strom wird dann als Funktion der Schlitz-Position ausgegeben, um das lineare Profil des Strahls zu bestimmen. Anhand dieses linearen Profils lassen sich wichtige räumliche Informationen wie Strahlbreite, Strahlposition, Strahlqualität etc. ablesen. Diese Technik kann in unterschiedlichsten Testszenarien eingesetzt werden.

Da Schlitz-Scanner Strahlen hoher Leistung ohne bzw. fast ohne Abschwächung messen können, eignen sie sich perfekt für die Strahlanalyse von Fertigungslasern. Die oft in der Fertigung eingesetzten Kohlendioxid(CO2)-Laser arbeiten bei einer Wellenlänge von 10,6 Mikron und damit in einem Bereich, der von den meisten Kameras nicht erfasst werden kann. Schlitz-Scanner bieten eine gute Möglichkeit hochauflösende CO2-Laser mit Leistungen bis über 1000 Watt zu analysieren.

 NanoScan  High Power NanoScan
 NanoScan Near-Field Profiler  Slit - Based Beam Propagation Analyzer M²